光电检测技术及应用（第2版）徐熙平-第10章 外观检测201607.pptVIP

* * * 激光器输出光束入射到偏振分束器pbs1上,p光透射,s光反射.s光被反射后沿光路1经扩束镜l1扩束后入射到半反片pb上.p光透射后进入光路2,在光路2中插入λ/2波片,p光经λ/2波片变为s光,被pbs2反射后入射到缩束镜l2缩束后再入射到半反分束镜pb上.调整光路使两束光在pb上同心.经pb后两束光的一部分经偏振片p3相互干涉被光电接收器pin1接收作为参考信号进入锁相放大器;另一部分由聚焦透镜l3聚焦再照射到被测表面,调整光路使光束垂直入射,则光束被反射后沿原光路返回,其间两次经过一个λ/4波片,注意入射光都为s光,则最后都变为p光返回.两束p光经pb后一部分经光路2被pbs2透射在p2相互干涉,pin2接收,输出包含了被测表面相位的信息,作为被测信号进入锁相放大器;另一部分沿光路1在pbs1透射经p1和四象限光电接收器作为聚焦调整信号用来控制载物台扫描,使光束在被测表面聚焦最小.整个光路系统没有光返回激光器.光路结构简单,充分利用了光路的每一部分输出,在接收端两束光偏振态同向(都为s光或p光),使干涉信号可见度最大,提高了系统的信噪比. 参考信号和被测信号经锁相放大器处理后输出,由计算机采样分析即可得到被测表面的表面轮廓均方根偏差rms值.控制步进电机可连续扫描被测表面,得到整个表面的粗糙度分布. 由于各种因素的影响,激光器的工作频率不稳定,它将引起zeeman激光器的拍频输出有大的漂移.实验显示,在不到10 min内,漂移达8.5 khz(70 khz拍频).拍频的不稳定将给系统带来大的测量误差,并使系统不能正常工作.故采用了稳频措施(见图2),频率稳定性在1 h内变化0.5 khz. * * * * * 第10章 外观检测 四、表面粗糙度检测 表面粗糙度检测装置示意图 2、激光外差法检测粗糙度原理 第10章 外观检测 五、内表面疵病检测 管道内表面疵病检测系统组成 1、管道内表面疵病检测系统组成 很多管类产品对内表面质量要求都比较高，在加工和使用过程中需要精确检测。但这些管类产品一般都具有长径比很大的特点，而其内膛表面形状又比较复杂，即检测具有一定的难度。 第10章 外观检测 五、内表面疵病检测 1—电动机 2—齿轮 3—蜗杆 4—涡轮 5—支撑轮 6—爬行轮 7—弹簧 包括两套驱动机构，每套驱动机构主要由电动机、齿轮、蜗轮、蜗杆、爬行轮和支撑轮等组成，其作用是驱动检测系统在管道内沿轴线爬行，完成测量过程。 系统驱动装置 驱动装置结构示意图 第10章 外观检测 五、内表面疵病检测 1—固定座 ；2—直角反射棱镜 ；3—CCD摄像头；4—光源 ；5—被测管道 ；6—天线 两个微型电珠作为光源，发出的光经直角反射棱镜反射后照亮管道内表面。由管道内表面反射的光经直角反射棱镜反射进入CCD摄像头的物镜，并放大成像在面阵CCD上，并传送给接收装置，监视器上就可以随时显示及观察，还可以经计算机进行图像处理与识别，给出管道内表面粗糙度等级。 光学测量装置 光学测量装置示意图 第10章 外观检测 五、内表面疵病检测 1—辅助支撑轮；2—支撑架 ； 3—弹簧；4—固定座 ；5—被测管道 辅助支撑装置与光学测量装置连接在一体，保证CCD摄像头组件的平衡并使其轴线与管道轴线基本一致。三个支撑架成120°均匀分布，在弹簧的作用下使得支撑架径向伸出长度可以调节，从而可以在不同内径的管道内起支撑作用。 辅助支撑装置 辅助支撑装置示意图 第10章 外观检测 五、内表面疵病检测 利用管道内表面的漫反射光信息经过反射镜在CCD像敏面上成像，图像信息既可以通过无线传输也可以通过有线传输传送到图像监视器上，可通过监视器随时对管道内表面质量情况进行观察。可以使CCD相机与计算机连接，通过图像数字化处理，并同计算机内预先存储的标准粗糙度图像相比较，就可以计算出管道内表面粗糙度的等级。 可以在直管和曲率半径较大的弯管中爬行； 有清扫头的作用，不受管道内杂质的影响； 监视器可以放在距离检测地点较远的位置，在对有毒或有危险的管道进行在线检测时，可保证检验人员的安全。 2、检测系统工作原理与特点 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 《光电检测技术及应用》 第10章 外观检测 任课教师：张 宁 目 录 10.1 外观检测的方式和原理 反射式与透射式外观检测、正反射式与非正反射式检测、扫描方式 10.2 光电变换器 疵病信号、光源选择 10.3 信号处理及检测装置 通量式疵病信号的处理方