光电检测技术及应用（第2版）徐熙平-第12章 光电检测技术的综合应用201607.pptVIP

* * * * * * * * * * * * 第12章 光电检测技术的综合应用 五、座圈尺寸光电非接触测量系统 第12章 光电检测技术的综合应用 五、座圈尺寸光电非接触测量系统 座圈尺寸光电非接触测量系统总体结构图 第12章 光电检测技术的综合应用 五、座圈尺寸光电非接触测量系统 直径测量原理 2、直径测量原理 第12章 光电检测技术的综合应用 五、座圈尺寸光电非接触测量系统 数据处理程序流程图 3、数据处理系统设计 系统测量误差优于±0.02mm； 重复性精度优于±0.01mm。 误差来源： 测量误差； 相邻测量系统光轴不平行引起误差； 基准平面与测量系统光轴不垂直引起的误差。 第12章 光电检测技术的综合应用 六、管道直线度 光电检测系统 管道直线度检测系统的结构图 1、直线度光电检测的结构与工作原理 第12章 光电检测技术的综合应用 六、管道直线度 光电检测系统 激 光 准 直 系 统 及 定 位 机 构 2、检测系统的组成 激光准直系统 1—定位螺钉 2—外定位环 3—内定位环 4—光学准直系统 5—激光器壳体 6—激光器 7—定位螺钉 第12章 光电检测技术的综合应用 六、管道直线度 光电检测系统 光电靶 光电靶定位机构 四象限光探测器 2CR81-4型四象限硅光电池 光电靶定位机构由光电靶座1 、光电池2、光电池座3、定位轴承4、重锤5、弹簧6和滑轮7组成。 第12章 光电检测技术的综合应用 六、管道直线度 光电检测系统 四象限光电池的和差连接 当偏离较小时，可得到很好的线性度。故本系统采用和差比幅式方法提取直线度误差信息。非线性部分由计算机进行补偿。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 《光电检测技术及应用》 第12章 光电检测技术的综合应用 任课教师：张 宁 目 录 12.1光电多功能二维自动检测系统 12.2曲臂光电综合测量系统 12.3激光扫描圆度误差测量系统 12.4飞轮齿圈总成圆跳动非接触检测 12.5座圈尺寸光电非接触测量系统 12.6管道直线度光电检测 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 1、测量系统的总体结构 该仪器主要由激光扫描检测系统、光栅位移检测系统、闭环伺服控制系统以及测量工作台精密机械系统4大部分组成。 测量系统工作时，在计算机系统的控制下，闭环伺服系统控制执行部件步进电动机带动滚珠丝杠转动，这样就带动了与其配合的测量工作台作直线运动。工作台与光栅位移测量系统的读数头相连，其移动的轴向距离可由光栅位移检测系统读出，放置在工作台上的被测工件的径向尺寸可由激光扫描检测系统测出，由此组成了二维光电测量系统。本系统配合相应的附件可完成回转类工件多部位的尺寸与形位误差的自动测量。 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 二维光电综合测量总体结构框图 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 同轴度误差测量系统 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 同轴度误差的测量方法 刀口法测量同轴度误差示意图 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 测 量 同 轴 度 误 差 的 系 统 软 件 框 图 轴截面数： 正截面数： 每次测量转动的角度值： 每次测量轴向移动量： 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 3、环距测量方法的研究 环距测量原理 被测环槽状零件结构图　 环距测量示意图 第12章 光电检测技术的综合应用 一、光电多功能 二维自动检测系统 环槽状零件测量部位的直径D1和D2由激光扫描检测系统完成，轴向位移送进量L由光栅位移检测系统完成，经数据处理便可得到环距测量值。 第12章 光电检测技术的综合应用 二、曲臂光电综合 测量系统 曲臂零件及被测量参数示意图 第12章 光电检测技术的综合应用 二、曲臂光电综合 测量系统 1、系统的组成与总体布局 主体精密机械系统 模块式激光检测系统 光栅位移与转角测量系统 伺服控制系统 基于虚拟仪器的计算机实时数据处理与控制系统 虚拟仪器软件系统 第12章 光电检测技术的综合应用 二、曲臂光电综合 测量系统 曲臂光电综合