衬底温度对共溅射制备 薄膜光电性能影响.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ４０ ５ Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．５ 　 　 　 　 年 月 ２０１８ １０ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｏｃｔ．２０１８ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１８０５０７８４０５ 　　 衬底温度对共溅射制备犃犣犗薄膜光电性能影响 ， １２ １ １ １ 何双赐 ，钟志成 ，汪竞阳 ，魏彦锋 （ 湖北文理学院 物理与电子工程学院，湖北 襄阳 ； 武汉科技大学 材料与冶金学院，湖北 武汉 ） １．