RTA快速热处理系统.PDFVIP

RTA 快速热处理系统 1.0 仪器功能 ： 快速热处理系统 ，主要用于样品的快速退火，以得到结晶结构。 2.0 样品材料要求 RTA 设备的腔体是石英材质，可用于Si、Ge、SiC 等。涂布完光阻的硅片严禁使用 本设备。透明的材料需要垫硅片。 3.0 设备培训和参考资料 3.1 本设备需经过使用资格考核。 3.2 考核方法 3.2.1 向平台工程师领取考核表，观摩一般用户或超级用户使用3 次， 请一般用户签名 ，收集3 个签名后，即可申请上机考核。 3.2.2 联系超级用户预约上机考核时间。（注明：本设备为平台初级设 备 ，所有已考核通过用户，都是超级用户。） 3.2.3 通过上机考核后，请超级用户在考核表上签名。 3.2.4 递回考核表，待使用权限开通。 3.3 培训考核周期：一天。 4.0 常用术语 4.1 LIMS: laboratory information management system。 4.2 RTP ：Rapid Thermal Proce