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专题：扫描透射电子显微镜
SEM TEM STEM
光源 电子源 电子源 电子源
加速电压 0.5~35 kV 80~300 kV 0.5~35 kV （基于SEM）
（常用） 80~300 kV （基于TEM）
成像方式 扫描成像 透镜成像 扫描成像
记录电子信号 二次电子、背散射电 透射电子、相干散 透射电子、散射电
子 射电子（电子衍射） 子、二次电子
衬度 形貌、成分（Z） 质厚、衍射、相位 质厚、成分（Z）
分辨率 ~1nm ~0.1nm ~1nm （基于SEM）
~0.1 nm （基于TEM）
制样 基本保持原始状态 分散、减薄 分散、减薄
分析功能 能谱（可mapping） 能谱、能量损失谱、 能谱、能量损失谱
能量过滤像（不可 （可mapping）
mapping）
基于TEM的STEM
STEM明场、暗场和能量损失谱
3
STEM的特点：
①没有透镜成像的色差问题，可观察
比较厚的试样；
②分辨率主要取决于会聚束尺寸，可
用会聚镜球差校正器实现亚埃级分辨率；
③可在高空间分辨率（原子尺度）下
实现分析功能
可以大的出射角接收透过电子并减小试
样损伤。
1.高角度环形暗场(HAADF)方法:
High-Angle Annular Dark-Field
HAADF （高角环形暗场像）-- Z衬度像
Z衬度像是高分辨（原子级）的
质厚成像技术，代表了质厚衬
度的空间分辨率极限，可记录
从单个原子或原子柱散射出来
的电子。
SrTiO3的球差校正STEM-HAADF像 （左）
和ABF像 （右）
6
Al O grain boundary
2 3
7
STEM （明场）像
HAADF （暗场）像
2、STEM-EDS mapping：
在STEM的基础上，以与SEM类似的方式采
集特征X射线信号，形成元素面分布图。
特点：高空间分辨率、低定量精度
3、电子能量损失谱（EELS）：
在STEM的
基础上，加装
能量分析器，
对透过的电子
进行分光，可
获得能量损失
谱。
采用能量分析器对透过的电子进行分光，
可获得能量损失谱，以确定试样的化学组成
（特别是轻元素）及一些化合物的价态。
硅铝氧氮耐
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