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电化学沉积高c轴取向ZnO薄膜及其光学性能分析!.pdf

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    第卷第期年月物理学报电化学沉积高轴取向薄膜及其光学性能分析谷建峰付伟佳刘明刘志文马春雨张庆瑜大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连年月日收到年月日收到修改稿采用阴极还原方法在透明导电玻璃上制备了高轴择优取向的薄膜通过射线衍射扫描电子显微镜等表征技术研究了沉积电流对薄膜的结构应力状态及表面形貌的影响利用光致荧光光谱及透射光谱等分析方法探讨了沉积电流变化对薄膜的光学性能的影响研究结果显示各沉积电流下均可制得高轴取向的薄膜薄膜表面形貌受电流的影响较大从透射谱可以看出薄膜在可见光波段有较高透射率且薄

    第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 2# $ %$$( $ ， ， ， FV9 /2# UV / $ ,DBVWCX %$$( （ ） $$$5)%’$P%$$(P2# $ P2’(’5$( QR+Q NSTH*RQ H*U*RQ

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