空气过滤器典型使用场所分析.doc

空气过滤器典型使用场所分析 ? 您好，欢迎来到阿里巴巴 空气过滤器典型使用场所分析(2011/05/15 20：33)空气过滤器典型使用场所分析 1芯片厂 当今，半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度最挑剔，对空气过滤器的要求也最苛 刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。 芯片厂用的高效过滤器和风机过滤单元(FFU)出厂前要经过扫描测试。芯片厂不认钠焰法和DOP法的帐。芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素。近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要进行电中和以消除离子，少了个隐患，多了个麻烦。 但当芯片的线宽小到0.5um时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。许多情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点：广谱吸附性能、足够多的吸附材料。如果能确定污染物种类，就可对吸附材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定化学过滤器的使用情况，这就要求供应商中有搞化学过滤的专家，并与权威实验室有密切的关系。 半导体工业并非无烟工业，它也有环境问题。为降低环境风险，有些芯片厂