国外三氟化氮制备技术研究开发进展-维普网.PDF

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维普资讯 (总第 90期) 化学推进剂与高分子材料 国外三氟化氮制备技术研究开发进展 胡长诚 (黎明化工研究院 洛 阳471001) 摘要 介绍 了国外各有关公司近年来三氟化氮 (NF3)生产发展概况 ;介绍 了三氟化氮主要制备方法 — — 氟氨直接化合法和氟化氢铵熔融盐 电解法的基本原理 、工艺技术 以及研究开发进展 ;介绍 了高纯三氟 化氮典型质量指标及精制提纯方法研究进展 。主要介绍 国外专利技术 。 关键词 三氟化氮 (NF3) 生产 制备 氟氨化合法 氟化氢铵电解法 精制提纯 热解 洗涤 吸附 精馏 l 生产发展势态 与南非 Pelchem 成立合资公 司,在南非建设一 NR 作为半导体工业 中气体清洗剂的全氟烃 (PFC) 生产装置 ,预计 2000年第 4季度投产 ,2001年末能

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