方波调制下自由载流子吸收测量半导体载流子输运参数时域.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 13 (2014) 137801 方波调制下自由载流子吸收测量半导体载流子 输运参数的时域模型∗ 张希仁 高椿明 (电子科技大学光电信息学院, 成都 610054) ( 2013 年10 月30 日收到; 2014 年3 月19 日收到修改稿) 本文建立了用于测量半导体载流子输运特性(载流子寿命、载流子扩散系数和前表面复合速度) 的方波调 制下自由载流子吸收(free carrier absorption, FCA) 检测技术的时域理论模型. 通过数值模拟, 分析了在不同 调制频率下时域曲线的变化趋势以及各个载流子输运参数对时域曲线的影响. 结果表明方波调制下的自由载 流子吸收的时域信号对各个参数都用较高的灵敏度, 且参数值的测量范围大于频域测量范围. 关键词: 自由载流子吸收, 载流子输运特性, 方波调制 PACS: 78.20.nb, 42.25.Bs, 72.20.Jv DOI: 10.7498/aps.63.137801 传输特性. 尽管通过傅里叶级数能建立方波调制下 8 1 引 言 的时域理论 , 但在该理论模型中不能反映参数与 时域曲线特性如稳态值、上升时间或下降时间等的 半导体的载流子输运特性(载流子寿命 、载流 关系. 在本文我们将直接对连续性方程求解, 获取 子扩散系数 和前表面复合速度 ) 是评价半导 连续性方程的解析解, 建立方波调制下MFCA 的 体品质的重要参数. 如何准确测量这些参数一直是 一维时域理论模型并仿真分析时域曲线对载流子 半导体制造业中一个十分重要的课题. 输运参数的依赖关系, 建立获取半导体参数的时域 Sanii 等于1988 年提出的调制自由载流子吸收 测量方法. (modulated free carrier absorption, MFCA) 12 作 为一种抽运-探测方法, 是测量半导体的载流子输 2 调制自由载流子吸收时域理论 运参数如载流子寿命及表面复合速度的重要方法, 具有非接触、非破坏性等特点. 目前以被广泛应用 在这里仅考虑各向同性的半导体, 在低注入情 于半导体载流子输运特性(载流子寿命 、载流子 况下, 样品的载流子寿命、载流子扩散系数以及表 扩散系数 和前表面复合速度 ) 的测量35 . 在传统的MFCA 方法还仅在频域中建立信号 振幅或相位与调制频率12 或与抽运-探测光束位 4 67 置 的关系以及各种传输参数对模型的影响 来获取样品参数值, 基于这些理论模型能精确测量 0 7 的传输参数却局限在很小的范围 . 而在