常见的第七章-薄膜的形成与生长-形核.ppt

1.岛状阶段 3.沟道阶段 ◆ 在岛联并之后，新岛进一步生长过程中，它的形状变为圆形的倾向减少。只是在新岛进一步联并的地方才继续发生较大的变形。 ◆当岛的分布达到临界状态时互相聚结形成一种网状结构。在这种结构中不规则的分布着宽度为50~200 ǎ的沟渠。 ◆随着沉积的继续进行，在沟渠中会发生二次或三次成核。当核长大到与沟渠边缘接触时就联并到网状结构的薄膜上。与此同时，在某些地方，沟渠被联并成桥形并以类似液体的形式很快地被填充 ◆薄膜由沟渠状变为有小孔洞的连续状结构。在小孔洞处再发生二次或三次成核。 有些核直接与薄膜联并在一起，有些核长大后形成二次小岛，这些小岛再联并到薄膜上。 ◆核或岛的联并都有类似液体的特点。这种特性能使沟渠和孔洞很快消失，消除高表面曲率区域，使薄膜的总表面自由能达到最小。 4 溅射薄膜的形成过程 薄膜的形成过程：指形成稳定核之后的过程。 薄膜成长模式：指薄膜形成的宏观形式。 本节以岛状生长模式为主进行讨论 宏观物理量预测三维岛成长的条件 吸附原子在基体表面上的吸附能为 微观物理量预测三维岛成长的条件 假设两个小岛都是半径为　，小岛接触后经历时间为　，它们之间关系可用下式表示 ◆在联并初始阶段，为了降低表面自由能，新岛的面积 减小而高度增大。小岛将有一个最低能量的形状，它是 具有一定高度与半径比的构形。 4. 连续膜阶段 在沟渠和孔洞消除之后，再入射到基体表面上的气相原子便直接吸附在薄膜上，通过联并作用而形成不同结构的薄膜。 有些薄膜在岛的联并阶段，小岛的取向就发生显著变化。对于外延薄膜的形成，其小岛的取向相当重要。 在联并时还出现一些再结晶现象。以致薄膜中的晶粒大于初始核之间的距离。即使基体处在室温条件下，也有相当的再结晶发生。每个晶粒大约包括有100个或更多的初始核区域。 由此看出，薄膜中晶粒尺寸的大小取决于核或岛联并时的再结晶，而不取决于初始核的密度。 * * 第七章 薄膜的形成 ED Ed 吸附原子在表面停留期间: ◆若和基片能量交换充分到达热平衡（　　　 ），　　 表示完全适应。 ◆ 如果　　　　　 时，　　　　　 ，表示不完全适应， 有可能再蒸发。 ◆若　　　 则入射气相原子与基体完全没有热交换，气 相原子全反射回来，　　　 ， 表示完全不适应。 * *