扫描电镜之EDX能谱分析的介绍.PDF

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2018-11-16 发布于天津
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扫描电镜之能谱分析的介绍扫描电子显微镜利用电子束从纳米尺度的样品中获取信息所检测到的主要信号类型是背散射电子和二次电子它们在高倍率下生成样品的灰度图像然而还有许多其他的电子与样品表面物质相互作用的产物这些信号可以提供关于样品的额外信息在这篇博客中我们将阐述扫描电镜中的能谱是如何工作的电子与样品表面的相互作用入射电子与样品表面的物质相互作用产生了各种各样的信号这些信号携带了关于样品的不同信息图例如背散射电子产生的图像与原子序数的差异有关二次电子给出了形貌细节信息阴极发光可以提供关于电子结构和材料化

扫描电镜之 EDX 能谱分析的介绍扫描电子显微镜（SEM ）利用电子束从纳米尺度的样品中获取信息。所检测到的主要信号类型是背散射电子（BSE ）和二次电子（SE ），它们在高倍率下生成样品的灰度图像。然而，还有许多其他的电子与样品表面物质相互作用的产物——这些信号可以提供关于样品的额外信息。在这篇博客中，我们将阐述扫描电镜中的能谱（EDX ）是如何工作的。电子 —— 与样品表面的相互作用入射电子与样品表面的物质相互作用产生了各种各样的信号，这些信号携带了关于样品的不同信息（图 1 ）。例如，背散射电子产生的图像与原子序数的差异有关; 二次电子给出