直接积分法研究电子光学成像系统时间像差理论!.PDFVIP

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ; 8 77 8 , , , P5 $; O $ 8 %QFQ)* 77 ( ) !777G/:7J77J; 78 J/:!G7@ %CK% LM01NC% 1NONC% 77 C3.’ $ L3+) $ 12 $ $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ 直接积分法研究电子光学成像系统的时间像差理论! !) !) ) / ) / ) 周立伟 李 元 张智诠 # $ % $ #’()*+,)-. # $ 0 $ 1234546 !)(北京理工大学信息科学技术学院,北京 !7778!) )(装甲兵工程学院,北京 !7779 ) / )(俄罗斯科学院普罗霍洛夫普通物理研究所,莫斯科 !!:::!) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) 77; !7 77 / !9 提出了计算动态电子光学成像系统时间像差系数的新方法———直接积分法 以阴极面逸出的轴向电子初能为 $ ( )的近轴电子轨迹为比较基准,给出了时间像差的定义,详细叙述了直接积分法并给出求解动态电 ! 7 ! ! ! ! ! ! 7=( 子光学成像系统时间像差系数的积分表达式$ 变分法求得的二级几何时间像差系数必须求解微分方程,而直接 积分法求得的二级几何时间像差系数全部以积分形式表示,仅需进行积分运算,更适用于成像系统的实际计算与 设计$ 关键词:电子光学成像系统,阴极透镜,动态电子光学,时间像差理论 : , !## ;!87 ;!87? 场强(取负值), 为电子的荷质比 ’J 7 $ !A 引 言 不难看出,(),()式之间存在某种不协调性和 ! 不对称性 (),()式表明,系统的横向像差和时间 $ ! 在宽束动态电子光学成像系统的计算与设计 像差在一级近似下与电极结构和电位分布无关,而 中,时间像差理论 占有重要的位置$ !:9 年, 与电子的轴向逸出初能 、阴极面上的场强 有

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