镍薄膜物理气相沉积的蒙特卡罗模拟AMonteCarlo-逢甲大学.PDF

報告題名： 鎳薄膜物理氣相沉積的蒙特卡羅模擬 A Monte Carlo Simulation of the Physical Vapor Deposition of Nickel 作者：曾宏達 系級：電機碩一 學號：M9800491 開課老師：田春林 教授 課程名稱：薄膜技術 開課系所：電機所光電組 開課學年： 98 學年度第 2 學期 鎳薄膜物理氣相沉積的蒙特卡羅模擬 摘要 以兩步驟的蒙特卡羅法(Monte Carlo Method) ，模擬低能量物理氣相 沉積(PVD)下的原子，可發展為物理氣相沉積鎳薄膜的二維模型，此 近似方法由初始原子撞擊基板並吸附至表面，經多路徑原子擴散，可 模擬分析後來表面輪廓與內部原子結構的演進。此方法使用原子嵌入 模型 (EAM) ，可有效測定多個原子擴散路徑的活化能，可用於預測鎳 薄膜實際沉積過程中，長度與時間尺度上輪廓/結構的演進，且此建 模方式可評估蒸鍍的製程參數影響，例如蒸鍍通量的方向、沉積速率 與基板溫度，且由此沉積的形貌微結構，可用以定義其堆積密度，/ 表面粗糙度與柱狀生長的寬度(近似相關於晶粒的大小) 。此模擬結果 比對Movchan Demchishin的經驗結構區塊模型 (SZM) ，可作為有效 預測薄膜結構演進的模型。 關鍵字：蒙特卡羅法 (Monte Carlo Method) ，物理氣相沉積(PVD) ，結 構區塊模型(SZM) I 逢甲大學學生報告ePaper(2010 年) 鎳薄膜物理氣相沉積的蒙特卡羅模擬 目錄 第一章 緒論 1 1-1研究動機 1 1-2 研究目的 1 1-3 研究方法 2 第二章 基本原理 3 2-1原子吸附合倂 3 2-2 原子擴散模型 4 2-2-1 活化的擴散過程 4 2-2-2計算原子跳躍的活化能 7 2-3 結構區塊模型 (Structure Zone Model) 8 第三章 結果與討論 10 3-1動量系統原子結構 10 3-2 微結構 微輪廓上的溫度效應/ 12 3-2-1結構配置、堆積密度與表面粗糙度 12 3-2-2 比對模擬與實驗的柱狀晶粒大小 16 3-3微觀結構沉積速率的效應 17 3-4討論 19 第四章 結論 22 II 逢甲大學學生報告ePaper(2010 年) 鎳薄膜物理氣相沉積的蒙特卡羅模擬 圖目錄 圖 2- 1 Henderson模型與動量系統示意圖 3 圖 2- 2 原子跳躍路徑示意圖 4 圖 2- 3 結構區塊模型 (SZM) 9 圖 3- 1 Henderson模型與動量系統結構示意圖 11 圖 3- 2 Henderson模型與動量系統模擬比對圖 11 圖 3- 3 固定沉積速率，不同沉積溫度的結構配置圖 13 圖 3- 4 堆積密度與沉積溫度的相關曲線圖 14 圖 3- 5 表面粗糙度與沉積溫度的相關曲線圖 15 圖 3- 6 平均的柱狀晶粒大小與沉積溫度相關曲線圖 16 圖 3- 7 不同金屬晶粒大小與沉積溫度的相關曲線