原创力文档第卷第期北京工业大学学报年月基于纳米多孔氧化硅薄膜超声幅值成像的试验研究张改梅曹摇宋晓利何存富洪摇富北京印刷学院印刷与包装工程学院北京摇北京工业大学机械工程与应用电子技术学院北京摇摘摇要为研究原子力声学显微镜技术检测纳米多孔氧化硅薄膜的超声幅值成像的影响因素通过基于技术的谐振频率检测及超声幅值成像系统试验得到了纳米氧化硅薄膜和纳米多孔氧化硅薄膜的前阶接触谐振频率及其超声幅值成像分析试验过程中的参数如激励频率扫描频率对稳定性的影响及超声激励对纳米摩擦力的影响试验结果显示超声频率会影响超声幅值成像的
第44卷 第5期 北 京 工 业 大 学 学 报 Vol.44 No.5
2018年 5月 JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OFTECHNOLOGY May2018
基于AFAM 纳米多孔氧化硅薄膜超声幅值成像的
试验研究
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