现代生物分析仪器原理与实验之透射电镜-精选（公开课件）.pptVIP

质厚衬度 是非晶体样品衬度的主要来源，它所反映的，更多是物体表面特性和形貌特征。 是样品不同微区存在原子序数和厚度的差异形成的。 来源于电子的非相干散射，Z越高，产生散射的比例越大；d增加，将发生更多的散射。 质厚衬度 不同微区Z和d的差异，使进入物镜光阑并聚焦于像平面的散射电子I有差别，形成像的衬度。 Z较高、样品较厚区域在屏上显示为较暗区域。 图像上的衬度变化反映了样品相应区域的原子序数和厚度的变化。 衍射衬度 衍射衬度：衍射衬度主要是由于晶体试样满足布拉格衍射条件的程度差异以及结构振幅不同而形成电子图象反差。它仅属于晶体结构物质，对于非晶体试样是不存在的。 衍射衬度 是晶体样品衬度的主要来源。 样品中各部分满足衍射条件的程度不同引起。衍射衬度成像就是利用电子衍射效应来产生晶体样品像衬度的方法。 晶体样品的成像过程中，起决定作用的是晶体对电子的衍射，试样内各晶面取向不同，各处衍射束强度I差异形成衬度。 衍射衬度 假设样品由颗粒A、B组成，强度I0入射电子照射样品，A的(hkl)晶面组与入射束满足布拉格方程，产生衍射束Ihkl，忽略其它效应（吸收），其透射束为： 晶粒B与入射束不满足布拉格方程，其衍射束I=0 ，透射束 IB=I0 衍衬像 根据衍射衬度原理形成的 电子图像称为衍衬像。 晶体厚度均匀、无缺陷，（hkl）满足布拉格条件，晶面组在各处满足条件的程度相同，无论明场像还是暗场像，均看不到衬度。 衍衬像 存在缺陷，周围晶面发生畸变，这组晶面在样品的不同部位满足布拉格条件程度不同，会产生衬度，得到衍衬像。 衍衬成像技术可对晶体中的位错、层错、空位团等晶体缺陷进行直接观察。 透射电子显微镜-TEM Transmission electron microscope 内容 简介 结构原理 样品制备 透射电子显微像 透射电子显微镜-TEM TEM用聚焦电子束作照明源，使用于对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。 为什么采用电子束而不用自然光？ 显微镜的分辨率 自然光与电子束的波长 有效放大倍数 显微镜的分辨率 通常人眼的分辨本领大概是0.2mm（即人眼可分辨的两点间最小距离 为0.2mm） 显微镜可分辨的两点间的最小距离，即为显微镜的分辨率 自然光与电子束的波长 可见光的波长在390～760nm 电子波长： 取V=100kV，理论得到电子波长为0.0037nm 采用物镜的孔径角接近90度 考虑采用可见光波长极限390nm的光束照明显微镜系统，可得d约为200nm 对于TEM在100kV加速电压下，波长0.0037nm，d约为0.002nm，目前电子显微镜达不到其理论极限分辨率，最小分辨率达到0.2nm 有效放大倍数 光学显微镜必须提供足够的放大倍数，把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度。相应的放大倍数叫做有效放大倍数，它可由下式来确定： 有效放大倍数 透射电镜的有效放大倍数 光学显微镜的有效放大倍数 由上面公式可以直接得出，光学显微镜的有效放大倍数远小于透射电镜。 为什么采用电子束做为光源? 结论： 由显微镜的分辨率与光源的波长决定了透射电子显微镜的放大倍率远大于普通光学显微镜；一般来说，光学显微镜的最大放大倍率在2000倍左右，而透射电子显微镜的放大倍率可达百万倍。 电磁透镜的分辨本领比光学玻璃透镜提高一千倍左右，可以达到2?的水平，使观察物质纳米级微观结构成为可能。 透射电子显微镜结构原理 电子光学系统 真空系统 操作控制系统 电子光学系统 照明系统 成像系统 观察记录系统 照明系统 作用是提供光源（控制其稳定度、照明强度和照明孔径角）；选择照明方式（明场或暗场成像）。 阴极 控制极 阳极 电子束 聚光镜 试样 （1）阴极 电子源： 钨灯丝—热发射 束流密度~10A/cm2 束斑大小~4nm 2. 场发射源 束流密度105A/cm2 束斑大小 1nm 常用肖特基源 （2）阳极 加速从阴极发射出的电子。 为了操作安全，一般是阳极接地，阴极带有负高压。 -50~200kV （3）控制极 会聚电子束；控制电子束电流大小，调节像的亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，习惯通称为“电子枪”。 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。 (4) 聚光镜 由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极后，逐渐变粗，射到试样上仍然过大。 聚光镜有增强电子束密度和再次将发散的电子会聚起来的作用。 多为磁透镜，调节其电流，控制照明亮度、照明孔径角和束斑大小。 (4)聚光镜 高性能TEM采用双 聚光镜系统，提高 照明效果。 成像系统 照明系统 成像系统 观察记录系统 （1）物镜