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以有酸氛行表面改之研究智宋振蔡嘉航立中大材料科工程系立大材料科工程系摘要因具良性以及加工容易等多在微子路及方面用甚但由於表面容易氧化故如何表面一直是重要本研究以有酸蒸原表面氧化物到表面目的由解光檬酸溶液浸泡行比由光分析可得知原片表面存在解光檬酸浸泡以及甲酸蒸理皆可使之吸收峰度下降但降低峰的效果不明深成份分析示未理片表面之氧含量在深度深度仍然超而分解光檬酸或甲酸蒸理後的片大多在深度氧含量可降至以下表面碳污染亦可被清除由粗度量果可解光檬酸理皆使粗糙度下降而甲酸氛理片表面粗糙度未示甲酸氛理其它者之表面
以有機酸氣氛進行銅表面改質之研究
Surface modification of Cu with organic acid vapors
2 *1 1
張智勛 宋振銘 蔡嘉航
Chih-Hsun Chang2 Jenn-Ming Song* 1 Chia-Hang Tsai1
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