低温沉积Cu膜晶体结构和摩擦磨损性能初步研究.PDFVIP

第 27 卷 　第 4 期 摩 擦 学 学 报 Vo l 27, 　No 4 2007 年 7月 TR IBOLO GY Ju ly, 2007 低温沉积 Cu膜的晶体结构及摩擦 磨损性能的初步研究 1, 2 1 1 1 1 高晓明 , 孙嘉奕 , 胡 　明 , 翁立军 , 刘维民 ( 1. 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室 , 甘肃 兰州 　730000; 2. 中国科学院 研究生院, 北京 　100039)