光束诱导电流成像系统(LBIC)说明书模板.docVIP

WORD格式 可编辑 专业知识整理分享 中国科学院半导体研究所 光束诱导电流成像检测系统（LBIC-301A） Light-Beam Induced Current—LBIC mapping system LBIC扫描系统 说明书 地址：北京市海淀区清华东路甲35号中国科学院半导体研究所1号楼 电话：（+86）-010/ 传真：（+86）-010-8230-4181 手机: 136 9313 3999 邮箱： HYPERLINK mailto:pdhan@ pdhan@ 网址： HYPERLINK /peidegroup/ /peidegroup/ 一、产品描述： 1.1 产品简介： 仪器名称：光束诱导电流成像检测系统（Light-Beam Induced Current—LBIC—mapping system） 仪器型号：LBIC—301A 生产单位：中国科学院半导体研究所 仪器简介：光束诱导电流成像检测系统（Light-Beam Induced Current—LBIC— mapping system）是一种高分辨、非直接接触的图象分析手段，通过不同激光波长的在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、并联电阻、反射率等特性参数，并通过横向扫描（Mapping）形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是晶界和位错分布，为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。本设备可以广泛应用到单晶硅、多晶硅、非晶硅、碲化镉、铜铟镓硒（CIGS）、有机半导体、染料敏化等各种传统和新型材料的太阳能电池研究，可以广泛应用到GaAs、InP、GaN光电子器件的研究，克服了大面积光照下I-V测试与单点光谱测试的不对应性和不准确性，大大提高了光电子器件诊断精度。 系统结构：下图1.1为典型的LBIC系统结构示意图。单色光束由激光器产生，依次经过扩束装置和平面分束镜，激光经扩束镜后被准直，光斑被放大，经过平面分束镜被分成垂直的两束光，反射光束被激光稳定性器接收以确定入射光的光强，而反射光束经由聚焦系统被会聚成微小光斑，照射至样品表面。照射在样品表面的光有一部分被反射，反射光逆着入射光方向照射到分束镜上，其中的反射部分被反射信号探测器接收以确定反射光的光强。另一方面，样品放置在可二维移动的固定装置上，利用计算机控制二维平移台，使得样品二维移动，从而能让光斑在样品上做二维扫描。样品中产生的电流信号通过电极导出至信号调节系统，再被数据采集系统采集，数据传输至计算机成像。 原理简介：图1.2为LBIC成像的等效原理图。用锁相放大器测量电池的短路电流时，得到的电流信号就是斩波器调制后的光束照射在电池局域部分产生的短路电流，与电池整体没有关系。也就是： I 测量得到的电流信号为局域短路电流，仅和局域电池特性（局域串并联电阻、局域光生电流等）有关，因而LBIC图像可反映电池的局域特性。短路电流主要受复合影响，因此LBIC图像反映了电池的复合分布情况，这种复合分布主要由缺陷复合（如应力、层错、位错、晶界等）引起。结合样品反射率图像由LBIC 图像可导出样品的内外量子效率以及有效扩散分布。每一点处波长为l的光照下的外量子效率可以表示为： EQE 式中，Isc代表局域短路电流，h为普朗克常数，P(λ)是光照强度。 结合每一点的反射率R(λ)可推导出各点的内量子效率为： IQE 而IQE(λ)与有效扩散长度Le f f有关系式： IQE(λ) 式中，a为波长是λ的光对应的吸收系数，θ是光子在电池中的运动轨迹与垂 直于样品表面的平均夹角。 图1.1 LBIC系统原理图 图1.2 LBIC等效原理图 1.2 技术参数： -- 样品尺寸：Max 200×160 mm2，Min 1×1 mm2 -- 激光波长：532和980nm，也可根据材料的光吸收系数而自行选配 -- 激光光斑：50μm/100μm可选 -- 测试电流范围：1 μA–1 mA -- 测试模式：LBIC，LBIV，内外量子效率，反射率，扩散长度，均为mapping成像 -- 扫描步长：0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、4 mm（可根据实际需要自定义） -- 扫描速度：15 points/s -- 可进行单点或连续扫描（mapping）测试 1.3 功能特点： -- 并联电阻逐点成像，观察电池边缘电隔离状况，表征电隔离工艺的水平 -- 反射率逐点扫描成像，观察钝化膜的减反特性以及晶粒取向对减反的影响 -- 可测太阳能电池微区的短路电流 -- 可测单波长反射率