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第五章 长度及线位移测量 本章要点： 1. 长度测量的量值传递系统及阿贝原则 2. 长度的各种测量方法(不同范围，动静态测量) 3. 形位误差和粗糙度的测量和评价方法 第一节 概 述 一、长度检测的意义 1. 长度是生产实践中最常遇到的测量之一。 二、长度的基准和量值传递系统 1889年: 冰点温度下，米原器两端刻线间的距离；（相对误差≥4×10-7米） 思考：为什么用铂90%，铱10%制成，结构为什么是X型？有何缺点？ 缺点：（1）精度低；（2）材料变形的风险；（3）米原器损坏将无依据；（4）复制品有误差，不利于使用；（5）与温度和压力有关；（6）不利于量值传递。 1960年: 氪－86原子的2P10和5d5能级之间跃迁的辐射在真空中波长的 1650763.73倍；（相对误差≤4×10-9米） 技术前提：随着光波干涉技术和同位素光谱光源技术的发展，人们先是发现自然镉（Cd）的红色谱线有非常好的清晰度和复现性，后来发现氪（86Kr）的橙色谱线更优越。 优点：（1）精度提高； （2）以自然量值为基准，不依赖于具体物体，没有变形问题； （3）容易复现，性能稳定。 缺点：原子波长太短，难免受电流温度等因素的影响，复现精确度仍受限。 1983：1米是光在真空中1/299792458秒的时间内所经过的距离。 技术前提：时间和光速的测定都达到很高的精确度。一般商用铯原子钟频率标准器稳定度10-12秒，实验室可达10-16秒。 优点：（1）不受某种物质性能的限制； （2）定义与单位复现分开，复现准确度不受定义的限制； （3）定义改变不影响基本单位的地位，使国际单位不必作任何改变。 2. 量值传递系统 通过计量检定，将国家计量标准器（基准）所复现的计量单位的量值，通过标准，逐级传递到工作用的计量器具，以保证对被测对象所测得量值的准确和一致。这个过程称为量值传递。 为保证长度量值统一和准确，把测得的尺寸与基准长度联系起来的渠道称为量值传递系统。 目前，实际工作中常用两种实物基准：量块和线纹尺。 三、长度测量的标准量 测量是将被测量与标准量进行比较的过程。标准量是体现测量单位的某种物质形式，具有较高的稳定性和精确度。 1. 光波波长：采用推荐的5种激光和2种同位素光谱灯之一复现。 级——按量块长度的极限偏差和长度变动量允许值的大小分为00、0、K、1、2、3共6个不同的级别； 等——按量块长度测量不确定度允许值和长度变动量允许值的大小分为l、2、3、4、5、6共6个不同的等别。 3. 光栅、容栅的栅距，磁栅和感应同步器的节距 四、长度测量的基本原则 1. 阿贝原则——在长度测量时，为保证测量的准确，应使被测零件的尺寸线（简称被测线）和量仪中作为标准的刻度尺（简称标准线）重合或顺次排成一条直线。符合阿贝原则的测量，可尽量减小导轨直线度误差对测量结果的影响。 2）串联排列方案 cos?=1-?2/2+?4/24+? ， ?=l（1- cos?）? l ?2/2 ， 设：l=1000mm， ?=10?，则 ?= 1000?1000?(5?10-5)2 ?0.001?m。 2. 基准统一原则 设计基准、加工基准、测量基准、使用基准统一。 工序测量应以工艺基准作为测量基准 终结测量应以设计基准作为测量基准 五、长度测量的环境标准要求 第二节 长度尺寸的测量 测量范围：1毫米到几米 测量内容：大多为两点、两线或两面（平面或曲面）间的距离（如孔径、轴径、工件长宽高等）。 测量方法：直接法或间接法（如坐标测量法） 主要步骤：定位、瞄准、读数、数据处理、 给出测量结果 1.定位 方法：平面定位，外圆柱定位，内圆柱定位，顶尖定位等。 2.瞄准 目的：建立标准量与被测量间正确的对应关系，常借助测量仪器的瞄准装置进行。 形式：标准量由仪器测量方法决定，被测量由其特点决定。 原则：寻找特征点、线、面?尺寸 方法：接触式（电感测头、量具）和非接触式（显微镜、图像） (1)直接测量法 将被测量直接和标准量进行比较。 绝对测量法：仪器示值为被测量的绝对值，常以刻度尺、光栅尺等作为测量基准，一般具有绝对零位，示值范围较大。如游标卡尺、千分尺、测长仪、测长机、工具显微镜等。 相对测量法：仪器示值为被测量相对于某一定值标准量的偏差值。标准量应尽可能与被测量具有相同定义及公称值。用于相对测量的仪器多称作测微仪或比较仪，一般具有放大倍数大，示值范围较