半导体行业污物排放标准.docVIP

DB31 ××××—×××× DB31 ××××—×××× PAGE PAGE I 发布上海市环境保护局上海市质量技术监督局DB312007-02-01实施2006-××-××发布半导体行业污染物排放标准The d 发布 上海市环境保护局 上海市质量技术监督局 DB31 2007-02-01实施 2006-××-××发布 半导体行业污染物排放标准 The discharge standards of pollutants for semiconductor industry （发布稿） DB31/ 374—2006 上海市地方标准 ICS DB31/374—2006 DB31/374—2006 PAGE II PAGE I 目 次 TOC \o 1-2 \h \z HYPERLINK \l _Toc120259630 前言 PAGEREF _Toc120259630 \h II HYPERLINK \l _Toc120259632 1 范围 PAGEREF _Toc120259632 \h 1 HYPERLINK \l _Toc120259633 2 规范性引用文件 PAGEREF _Toc120259633 \h 1 HYPERLINK \l _Toc120259634 3 术语和定义 PAGEREF _Toc120259634 \h 1 HYPERLINK \l _Toc120259635 4 技术内容 PAGEREF _Toc120259635 \h 2 HYPERLINK \l _Toc120259636 5 监测 PAGEREF _Toc120259636 \h 5 HYPERLINK \l _Toc120259640 6 标准的实施与监督 PAGEREF _Toc120259640 \h 9 前 言 为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国大气污染防治法》、《中华人民共和国海洋环境保护法》，加强半导体企业污染物的排放控制，保障人体健康，维护生态平衡，结合上海市实际情况，制定本标准。 本标准主要有以下特点：1）适用于半导体企业水污染物、大气污染物排放的管理；2）水污染物排放根据功能区执行分级标准；3）大气污染物排放不根据功能区进行分级；4）对现有半导体企业规定达到挥发性有机物（VOCs）排放标准的时限，对其余污染源不再按建设时间规定排放限值。 半导体企业的噪声控制、固体废物控制按国家和本市的有关规定执行。 本标准实施之日起，半导体企业水污染物排放按本标准执行，不再执行DB31/199-1997《污水综合排放标准》；半导体企业大气污染物排放按本标准执行，不再执行GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》。 本标准为首次发布。 本标准由上海市环境保护局提出并归口。 本标准由上海市环境科学研究院和上海市集成电路行业协会负责起草。 本标准由上海市人民政府2006年10月13日批准。 本标准由上海市环境保护局负责解释。 PAGE 8 PAGE 9 半导体行业污染物排放标准 范围 本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准值。 本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。 规范性引用文件 下列标准和本标准表5、表6所列分析方法标准及规范所含的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，与本标准同效。 GB 3095 环境空气质量标准 GB 3097 海水水质标准 GB 3838 地表水环境质量标准 GB/T 12997 水质 采样方案设计技术规定 GB/T 12998 水质 采样技术指导 GB/T 12999 水质采样 样品的保存和管理技术规范 GB 13271 锅炉大气污染物排放标准 GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB 16297 大气污染物综合排放标准 HJ/T 91 地表水和污水监测技术规范 HJ/T 92 水污染物排放总量监测技术规范 当上述标准和规范被修订时，应使用其最新版本。 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准： 半导体企业 semiconductor industry 指从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。 特殊保护水域 special protected water area 指经国家或上海市人民政府批准的自然保护区范围内水域；GB3838中II类水域；由本市各区、县人民政府规