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半导体厂厂务与安全实例 1半导体厂电力汇流排安装开关箱电弧灼伤事故 一、 发生时间 ：九三年四月二日下午 二、 接获通报时间：九三年四月二日下午约四时 三、 罹灾人数 ：三人灼伤 四、 事故经过 ： 园区某半导体公司厂房电力汇流排开关箱安装工程，于九十三年四月 二日下午约三时进行低压低容量（480V，400A）电力开关箱安装，施工人 员因开关箱插入汇流排作业，发现有阻力无法完全插入，于是将汇流排绝缘 板拆除，于进行开关箱预插入时，汇流排与开关箱发生短路产生电弧，造成 三位施工人员灼伤。 四 、 状况分析 ： 1、疑因汇流排绝缘板拆除后，汇流排端子因无绝缘板隔绝，开关箱插入 时，造成相间短路产生电弧。 2、施工人员因均佩带安全帽及安全索，幸未发生高处坠落之二次伤害。 五 、 处理对策 ： 1、本局接获通报，立即派员了解，协助处理此事故状况。 2、该汇流排短路插座先予停工，以利故障原因之调查。 3、安排与该厂及相关承揽商召开事故检讨会，针对此次事故检讨并提出确 保施工安全之防护设施及监督管理计划。 2 4、本案劳资组将制作事故案例，通报园区各使用电力汇流排厂商知悉，落 实厂商加强承揽商施工管制及管理。 5、委托专家学者协助本局及厂商实施承揽商施工作业安全、管理及监督工 作，以加强劳工作业之安全（配合本年度园区光电半导体厂安全卫生评 核作业实施）。 3 烧毁之电力开关箱接头 电力汇流排受损情形 事故现场照片-1 事故现场照片-2 电力开关箱电弧事故照片 2 期别 36 出版时间 88年8月 专栏 研究主题 篇名 半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准（上） 作者 林永芬 摘要 一、前言 近年来由于半导体相关产业的蓬渤发展，园区半导体相关产业之重大工安意外事故损失有逐渐增加之趋势。 由新竹科学园区83年至87年职业灾害分析资料显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型的第二位。 日本劳工部统计资料显示，日本半导体制程灾害事故也以液体类化学品造成的灾害事故高达61%以上，其中酸/碱液体占51%、有机可燃性液体也高达10%之多，所以在灾害预防上对于液体类化学品的使用、输送及管理实不可轻忽。 由保险界对全球半导体业在1985-1994年间灾害损失金额及事故件数之统计资料分析资料中也显示出，液体泄漏是造成巨额损失的首位，总损失达五亿八仟万美元。 故新竹科学园区管理局因鉴于半导体及光电工厂制程使用之化学品种类及特性之复杂性及高潜在危害性，且因各厂建置参考规范不一，致使系统存有各国各式规格，为能有效发挥与落实安全管理制度，保障其作业人员、经营财产、社会大众及整体环境安全，特委托工研院工安卫中心进行「半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准」之研拟，协助建立半导体厂及光电厂液体化学品之储存、供应、使用相关安全基准，使各厂能有一致之本土化安全基准，为系统建置及管理之参考依据，让业者能透过一致地安全基准规范，有效发挥及落实安全管理，避免意外事故之发生。 安全基准之建立过程除汇整国内外相关资料，并配合专家与具实务经验的业者公开共同探讨研拟出一致的准则，透过多次正式审核过程，建立适宜台湾科技产业应用之安全基准。 建立之安全基准不仅可做为现有化学品供应系统之安全改善准则，后续对于系统之新建、修改及变更使用，对作业期间之自动检查与稽核，对维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全需求的参考。 本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为基准建立之标的，防范其外泄引火、腐蚀、泄漏、不相容性及毒性之潜在危害为要项。 基准之制定将化学品供应系统，依化学品入厂至出厂所有过程区域划分来考量各使用范围内之安全设施，含概收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废弃液体处理等项目，期能整体性建立安全卫生管理准则，进而预防半导体厂及光电厂于使用化学品时造成灾害、保障劳工安全与健康、提升新竹科学园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。 表一日本半导体制程灾害事故分析表 资料来源：日本劳工部调查灾害事例(1991) 二、化学品潜在危害考量与作业区分类 此基准汇整各厂厂务化学供应系统安全技术与SEMI安全基准，参考内容包括NFPA 318、NFPA 30、FM Data Sheet 7-7、FM Data Sheet 7-29、SEMI S2-93 、Code Compliance for Advanced Technology Facilities、有机溶剂中毒预防规则、特定化学物质危害预防标准、危险物及有害物通识规则、锅炉及压力容器安全规则...等等。 以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为基准建立标的。 可燃性液体主