《数控技术在硅片厂中的应用及其结构原理》-毕业论文.docVIP

精品 数控技术在硅片厂中的应用及其结构原理 摘要：本文主要介绍了在硅片厂中一些数控的结构以及工作原理,首先初步了解硅的一些相关知识,尤其在工业中应用较多的单晶硅和多晶硅.硅产业在世界上发展的趋势以及前景,从中也间接的体现中数控在硅产业中发挥的重要作用. 关键词:硅 单晶硅 数控技术 多线切割技术 半导体硅片超精密加工技术 硅名称的由来 　英文silicon，来自 HYPERLINK /view/18498.htm \t _blank 拉丁文的silex,silicis，意思为燧石（火石）。 民国初期，学者原将此 HYPERLINK /view/19993.htm \t _blank 元素译为“硅”而令其读为“xi（圭旁确可读xi音，如畦字）”（又，“硅”字本为“砉”字之 HYPERLINK /view/1391219.htm \t _blank 异体，读huo）。然而在当时的时空下，由于拼音方案尚未推广普及，一般大众多误读为gui。由于化学元素译词除 HYPERLINK /view/61891.htm \t _blank 中国原有命名者，多用音译，化学学会注意到此问题，于是又创 “矽”字避免误读。 HYPERLINK /view/2200.htm \t _blank 台湾沿用“矽”字至今。 HYPERLINK /view/327945.htm \t _blank 中国大陆在1953年2月， HYPERLINK /view/11084.htm \t _blank 中国科学院召开了一次全国性的化学物质命名扩大座谈会，有学者以“矽”与另外的化学元素“锡”和“硒”同音易混淆为由，通过并公布改回原名字“硅”并读“gui”，但并未意识到其实“硅”字本亦应读xi音。有趣的是， HYPERLINK /view/1488.htm \t _blank 矽肺与矽钢片等词汇至今仍用矽字。在 HYPERLINK /view/2607.htm \t _blank 香港，两用法皆有，但“矽”较通用。 硅的发现史 　　1787年， HYPERLINK /view/24214.htm \t _blank 拉瓦锡首次发现硅存在于 HYPERLINK /view/10226.htm \t _blank 岩石中。然而在1800年， HYPERLINK /view/25814.htm \t _blank 戴维将其错认为一种 HYPERLINK /view/63037.htm \t _blank 化合物。1811年，盖-吕萨克和Thénard可能已经通过将 HYPERLINK /view/63071.htm \t _blank 单质钾和四氟化硅混合加热的方法制备了不纯的 HYPERLINK /view/2080376.htm \t _blank 无定形硅。1823年，硅首次作为一种元素被 HYPERLINK /view/68612.htm \t _blank 贝采利乌斯发现，并于一年后提炼出了无定形硅，其方法与盖-吕萨克使用的方法大致相同。他随后还用反复清洗的方法将单质硅提纯。 硅的部分化合物 　　 HYPERLINK /view/27254.htm \t _blank 二氧化硅、 HYPERLINK /view/62656.htm \t _blank 硅胶、 HYPERLINK /view/84667.htm \t _blank 硅酸盐、 HYPERLINK /view/149130.htm \t _blank 硅酸、 HYPERLINK /view/865536.htm \t _blank 原硅酸、 HYPERLINK /view/275481.htm \t _blank 硅烷、 HYPERLINK /view/139151.htm \t _blank 二氯硅烷、 HYPERLINK /view/486984.htm \t _blank 三氯硅烷、 HYPERLINK /view/1469031.htm \t _blank 四氯硅烷、 　　另参考： HYPERLINK /view/2076257.htm \t _blank 气相二氧化硅（俗称气相白碳黑）为人工合成物无定形白色流动性粉末，具有各种 HYPERLINK /view/106312.htm \t _blank 比表面积和容积严格的粒度分布。本产品是一种白色、松散、无定形、无毒、无味、无嗅，无污染的 HYPERLINK /view/3030330.h