PMMA微透镜阵列的非接触式热压印制作技术.PDFVIP

2012 年 12 月 机械科学与技术 December 2012 31 12 Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering Vol． 31 No． 12 第 卷 第 期 PMMA 微透镜阵列的非接触式热压印制作技术 1 2 2 2 ， ， ， 谢 丹 张鸿海 陶 晟 王迎春 1 2 ( ， 361024 ; ， 430074 ) 厦门理工学院机械工程系 厦门 华中科技大学机械科学与工程学院 武汉 谢 丹 : PMMA( ) 摘 要 提出 了一种利用通孔式模具制作 聚甲基 丙烯酸甲酯 聚合物微透镜 阵列的非接触 。 ， 式热压印工艺 该方法采用不锈钢圆孔阵列模板对热塑性聚合物材料进行压 印 利 用流动 态下聚 ， 、 。 合物材料的表 面张力形成透镜 透镜 的曲率和 高度可通过调节温度 压力和持续 时间来控制 利用 ， ， 有限元软件对压印过程进行 了分析 并用 自制的热压印设备进行 了非接触式模压制作 实验 讨论 了 ， 。 : 压印的温度和压力等工艺参数 并对形成的微透镜 阵列进行 了光 学检测 结果表明 该方法可用于 ， ， 、 。 热塑性聚合物光学微透镜 的制作 一次成型 形成的透镜表 面形貌好 位置精度高 : ; ; ; 关 键 词 非接触式 热压印 微透镜 阵列 聚合物 中图分类号:TH74 1． 8 文献标识码:A 文章编号:1003-8728 (20 12)12-1955-04 Fabrication of PMMA Microlens Array with Contactless Hot-embossing Technology 1 2 2 2 Xie Dan ，Zhang H