测控技术与仪器 毕业论文范文——电容加速度传感器测量电路设计.doc

电容加速度传感器测量电路设计 摘 要 加速度传感器也称加速度计(Accelerometer)是用来测量加速度的惯性传感器件，可以应用于倾斜角、惯性力、冲击及振动等惯性参数的测量。加速度传感器在惯性制导、医疗、消费类电子产品中有很广泛的应用。 电容式加速度传感器因为其高灵敏度和稳定性在各种测量形式的加速度传感器中备受关注。而电容测量电路的性能又直接影响加速度系统输出性能，因此提高电容测量电路的性能是加速度传感器系统设计中非常重要的部分。 本文针对电容式加速度传感器测量过程中电容量变化较小的特点设计了微小电容的测量电路。在这篇文章中，详细的介绍了电容式传感器的工作原理，建立了差动电容式加速度传感