无尘室洁净室清净室CleanRoom﹝CR﹞.PDFVIP

無塵室空調設計 • 無塵室空調特性 ◎微塵粒子（依等級要求） • ◎溫度（22~23℃DB ），溼度（40~45﹪RH ） • ◎恆溫恆溼控制要求（±0.1℃，±2﹪） • ◎全外氣與高換氣次數（化學藥品、氣體、揮發溶 • 劑…） • ◎全天候（24hr ）運轉（負荷大、備份機組） • ◎氣流分佈與控制 2以 ◎高耗能、高運轉及維修成本（1.4~1.9KW/m 上） 無塵室空調系統改善方向 P1 ◎縮小無塵室空間（不影響製程求） ◎適當溫溼度規範（勿過度） ◎局部排熱 ◎主機側— 省能、台數控制 — 備載機組（100﹪×2 , 50﹪x3 ） 無塵室空調系統改善方向 P2 ◎空氣側— VAV （Variable Air Volume ） — 採低壓降過濾網 — 冬天採外氣冷房（Free cooling ） — 熱回收裝置（Air - to - air ） ◎水側— VWV （Variable Water Volume ） ◎採高效率馬達及燈具 ＊儲冰系統不適合（負載差異小、24hr運 轉） 設計一般考量 P1 無塵室周圍環境 (外氣入口、排廢氣) 生產製程空間佈置(Layout) 氣流方式決定及壓差控制 是否全外氣 設計一般考量 P2 空調負荷估算 (1) 負荷相同數據 (2) 外氣量 (3) 空氣循環量 (4) 清淨度驗算 (5) 決定負荷 (6) 決定空調箱風量 (7) 空氣線圖分析 空氣循環量計算 P1 (1) 依空氣換氣次數(Air change rate, ACH) Q = V * (ACH) (m³/hr)= (m³/次) * (次/hr) 空氣循環量計算 P2 (2) 依氣流速度(Air velocity) Q = υ* A (m³/hr) = (m/s) * (m²) 循環風量=風速*面積(房間或回風口) 空氣循環量計算 P3 (1) 濾網面積 ＊考慮(1)(2)項取較大者 層流與亂流之考量 外氣量計算 P1 (1) 外氣量(Q1與Q2較大者) Q1=製程排氣量(Qe)+ 間隙外洩量(Qi)+ 開門外洩量(Qd) Q2=人員健康需求量(Qp) ( ≒人數* 40m³/hr-人) 外氣量計算 P2 (1) 外氣量= 排氣量+ 10%排氣量(洩漏)+ 1%循環空氣量 ≒8~10%循環空氣量 無塵室空調之節能設計 P1 減少熱負荷 (1) 最少外氣 (2) 建築隔熱 (3) 低發熱設備 (4) 外氣冷房 熱回收(主機，排氣) 無塵室空調之節能設計 P2 降低機器耗能 (1) 高效率主機，