一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法-电子学报.PDF

第 期 电 子 学 报 ８ Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．８ 年 月 ２０１１ ８ ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ａｕｇ． ２０１１ 一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法 １ １ １ ２ 张 鉴 ，戚昊琛 ，徐栋梁 ，胡智文 （ 合肥工业大学电子科学与应用物理学院，安徽合肥 ； 温州大学瓯江学院，浙江温州 ） １． ２３０００９２． ３２５０３５ 摘 要： 针对硅微加工中的刻蚀工艺模拟应用，提出了一种基于点元网格和单位法向量的三维表面演化算法． 在形成的连续曲面上，以高斯积分法得到点元步进的单位法向量