单晶硅表面金字塔大小与少子寿命的关系-光学工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明:所呈交的学位论文《单晶硅表面金字塔大小与少 子寿命的关系 ，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得 的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人 或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的 个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的 法律结果由本人承担。 位时者签名:藩盘 日期叫2年 d月了日 上海交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密 口，在年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不保密 口。 (请在以上方框内打 ../ ) 叫文作者签名: 在率 由山: 2知rv 日期咐年 月扣 日期: 年月 ，日 夕77 b S 上海交 上海交通大学硕士学位论文 摘要 单晶硅表面金字塔大小与少子寿命的关系 摘 要 高效晶体硅太阳能电池是光伏发电领域的热门研究之一。有效调 节单晶硅表面金字塔大小是太阳能研究中一个重点技术。在反映半导 体材料与器件性质的多个物理参数中, 少子寿命(τ )有着非常重要的 作用, 测量少子寿命是评价原材料和器件工艺的主要方法之一。在切 割后，原始硅片表面上存在着大量的不饱和键，这些不饱和键会在硅 片表面形成一个个的复合中心，载流子在这些复合中心进行复合，从 而降低硅片的少子寿命。少子寿命对器件的重要性是不言而喻的，结 论也是显而易见的。长的少子寿命可制备高性能的电池，反之，电池 的转换效率将大大降低。非平衡载流子复合是决定少子寿命的关键因 素。而单晶硅表面钝化后少子寿命、太阳能电池转换效率与单晶硅表 面金字塔大小、形貌和分布密切相关。本文用不同的碱液刻蚀单晶硅 表面，用 SEM 观察其表面绒面结构，测量了不同碱液刻蚀的单晶硅表 面的少子寿命以及对应太阳能电池的转换效率。实验研究表明：不同 碱液刻蚀的单晶硅表面绒面结构形貌差异大，少子寿命明显不同。进 一步研究发现：绒面上金字塔尺寸大、并且分布不均匀，其少子寿命 较短，对应太阳能电池的转换效率较低；反之，绒面上金字塔小并且 均匀分布，则绒面少子寿命相对较长，对应的太阳能电池转换效率相 对高。 关键字：单晶硅 ,绒面结构, 金字塔, 少子寿命, 转换效率 I 上海交 上海交通大学硕士学位论文 ABSTRACT RELATIONSHIPABOUT THE SIZE AND FLUCTUATION OF PYRAMID ON THE SINGLE CRYSTAL SI SURFACE AND MINORITY CARRIER LIFETIME ABATRACT High-efficiency crystalline silicon solar cell is one of the hottest research in the photovoltaic field. Effectively regulate the size of the silicon surface pyramid is a key technology in solar energy research. Minority carrier lifetime is very important in the physical parameters reflecting the performance of the semiconductor materials and devices. Measuring the minority carrier life time is one of the main methods to evaluate the function of raw materials and device technology. There are a large number of dangling bonds, broken bonds as well as unsaturated bonds semiconductor silicon surface, easily formed the recombination center in the band gap , increasing the composite of carrier on the surface, and seriously decrease the minority carrier life time. I