单晶硅表面形貌的调控技术及其对少子寿命的影响-光学工程专业论文.docx

Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University for the Degree of Master The Regulation of Monocrystalline Silicon Surface Structure and The Influence on Its Minority Carrier Lifetime Candidate： ShanYihong Student ID: 1110729025 Supervisor： A/Prof. Feng Shimeng cademic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Optical Engineering Affiliation： School of Physics Date of Defence： Jan., 2014 Degree-Conferring-Institution： Shanghai Jiao Tong University 万方数据 上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明:所呈交的学位论文《单晶硅表面形貌的调控技术及 其对少子寿命的影响)) ，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作 所取得的成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其 他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要 贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本 声明的法律结果由本人承担。 学叫者签名身队以 日期:μ户 !月 \?- 日 上海交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密口，在年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不保密0/0 (请在以上方框内打寸，) 与ρ比J R 与ρ 比 J R 护l 1 』 名 签 者 作 以 位 学 日 fJ 日 fJ 同凡 l 年 ，ψ1 占 期 日 上海交通大学硕士学位论文答辩决议书 所在 光学工程  1110729025 姓名 单以洪 学号 1110729025 学科 指导教师 冯仕猛 答辩 2014-01-13 答辩 上海交通大学物理与天文系 709会议室 日期 地点 论文题目 单晶硅表面形貌的调控技术及其对少子寿命的影响 投票表决结果: / / (同意票数/实到委员数/应到委员数) 答辩结论:口通过 口未通过 评语和决议: 单晶硅表面形貌对太阳能电池的效率有重要影响，论文选题具有重要的应用前景和学术参考价值。 论文的主要研究工作如下: 1.利用薛定 号方程分析了晶体表面周期性中断对表面势垒及表面衰减波函数的影响，半定量讨 论 了表面形貌与表面缺陷态密度的关系。 2. 研究金字塔在传统碱液中加入不同醇类添加剂对于表面形貌结构的影响。实验结果表明普通 碱 隙中加入乙醇和乙二醇混合海液的绒面，金字塔分布较为均匀，表面平均反射率在 10. 13%左右。 3. 实验证实绒面表面金字塔尖锐度低，表面缺陷态密度比较低，少子寿命较高。 答辩过程阐述明确，思路清晰，回答问题准确。 答辩委员会一致认为单以洪同学达到了硕士学位的要求，经投票表决，一致通过答辩，建议授予其 l硕士学位。 房 赞f φ扩/4-年 f 月 r { 日 职务 姓名 职称 单位 签名 事用ν:主席 詹黎 教授 上海交通大学物理与天文系 事用 ν: fI量 合撞 委员 徐林 副教授 上海交通大学物理与天文系 、练和1 置在 售 委员 黄梅珍 研究员 上海交通大学物理与天文系 户 王宇兴 副教授 上海交通大学物理与天文系 立 复草一 秘书 万方数据 上海交通大学硕士学位论文摘要 上海交通大学硕士学位论文 摘要 上海交通大学硕士学位论文摘要 上海交通大学硕士学位论文 摘要 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 单晶硅表面形貌与少子寿命的关系 摘 要 单晶硅表面制绒过程是太阳能电池制备的一个重要处理过程。目 前主要通过碱性腐蚀液对单晶硅片进行刻蚀，使得硅表面形成金字塔