镀膜技术十个主要问题和答案解析.docVIP

专业资料整理分享 完美WORD格式编辑 镀膜技术十个主要问题及答案 问题： 镀膜技术可区分为那几类? 可区分为：(1)真空蒸镀 (2)电镀 (3)化学反应 (4)热处理 (5)物理或机械处理 常用的真空泵浦有那几种?适用的抽气范围为何? 真空泵浦可分： (1)机械帮浦 (2)扩散泵浦 (3)涡轮泵浦 (4)吸附泵浦 (5)吸着泵浦 真空泵浦抽气范围： 泵 浦 抽 气 范 围 机 械 泵 浦 10-1 ~ 10-4 毫巴 扩 散 泵 浦 10-3 ~ 10-6 毫巴 涡 轮 泵 浦 10-3 ~ 10-9 毫巴 吸 附 泵 浦 10-3 ~ 10-4 毫巴 吸 着 泵 浦 10-4 ~ 10-10 毫巴 电浆技术在表面技术上的应用有那些? 1)溅浆沉积：溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材，使表面分子溅离并射到基材镀成一层薄膜，溅射离子的起始动能约在100eV。常用的电浆气体为氩气，质量适当而且没有化学反应。 (2)电浆辅助