系统SiSiGe低温掺杂外延中国科技论文在线.PDF

___________________________________________________________________ 　第 22 卷第 3 期 半　导　体　学　报 . 22, . 3 V o l N o 　2001 年 3 月 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S M ar. , 2001 系统 、 低温掺杂外延 HV CVD Si SiGe 刘志农　贾宏勇　罗广礼　陈培毅　林惠旺　钱佩信 (清华大学