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5 X射线的产生及X射线的性质 典型的X射线谱 （含连续谱和特征谱） 几种常用阳极靶材料的特征谱参数 (1) 阳极材料已知时 电子束轰击可以得到已知波长的特征X射线—----用于X射线衍射分析的光源。 如，Cu阳极 (Cu靶)，得到 Cu： λKα1 ＝1.5405? λKα2 ＝1.5443? λKβ ＝1.3921? (2) 阳极材料未知时 阳极换成未知样品，则样品中含有那种元素，即可得到那种元素的特征X射线波长，若含多种元素，则得到各该种元素的特征X射线波长。 如果能测定出样品产生的X射线波长(或能量)，则可以鉴定出样品中的元素种类(及含量)----电子探针分析、能谱分析(EPMA,EDX)。 四. X射线与物质的相互作用 MgKα激发Ag得到的光电子谱 XPS进行成分测定的特点： . 样品最表面元素种类(及含量)的测定(信息深度10层原子)。较深部位元素产生的光电子很难逸出样品表面。 . 元素的不同状态，其光电子的能量会有差异(化学位移)，因此可测定元素的不同状态---价态、配位形式等。 例如Si的2p电子结合能： 单质硅中：99.6eV SiO2中： 103.4eV 有机化合物化学位移举例 俄歇电子的能量