impl03e220离子注入机中束流操作规范.docVIP

文件标题 （Title） IMPL032 E500220HP离子注入机(中束流)操作规范 . 文件类别：√Q(质量)　　□S(EHS) □C(S+Q) 一、 一、文件拟制、审核： 部门 拟制者 签名 日期 审核者 审核者签名 审核日期 工程部扩散 王晓静卞兰芹 卞兰芹王晓静 20056- 张 明 张 明 2005-1-12 文件会签： 部门 会签人员 签名 日期 部门 会签人员 签名 日期 制造部 徐 步 徐 步 2005-1-13 文件批准和生效： 部门 批准人员 签名 日期 文件编号 版本 生效日期 工程部 刘 逵 刘 逵 2005-1-13 QW-75082 4B12 2005-1-13 文件分发： 分发部门 接收人 日期 分发部门 接收人 日期 五、文件修订记录： 修订日期 修订申请人 修订人 主要修订内容 2005-1-12 王晓静 叶可佳 文件标题具体化；由“E500HP注入机操作规范”改为“IMPL02 E500HPIMPL03 E220离子注入机(中束流)操作规范”。 5.0定义中“生产线的M1(L6M1)”改为“生产线的IMPL02” 8.0附录一：标题具体化。 机密等级： 普通。 1.0 标题： IMPL03 E2202 E500HP离子注入机(中束流)操作规范 2.0 目的： 该文件目的在于提供一个IMPL02 E