工业型扫描探针显微平台样品粗定位技术研究-仪器仪表工程专业论文.docx

calculated by the coordinate transformation equation, the positioning function can be achieved. 5. The PC control software concentrated on auto focusing and positioning function is designed based on the industrial SPM experimental platform. And the experimental results show that the positioning accuracy can reach to ±8 μm and the time spent in positioning can be limited in 30 seconds with this method. KEY WORDS：industrial scanning probe microscopy, positioning method, auto-focus, image matching 目 录 第一章 绪论1 1.1 引言1 1.2 工业型扫描探针显微镜的研究意义3 1.3 粗定位技术的研究状况5 1.4 本文主要研究内容7 HYPERLINK \l _TOC_250003 第二章 工业 SPM 系统及粗定位系统设计 8 HYPERLINK \l _TOC_250002 2.1 工业 SPM 总体设计 8 HYPERLINK \l _TOC_250001 2.1.1 工业 SPM 平台结构设计 8 HYPERLINK \l _TOC_250000 2.1.2 工业 SPM 工作流程 9 2.1.3 电机重复定位精度的标定10 2.2 粗定位系统设计13 2.3 本章小结14 第三章 自动聚焦技术研究15 3.1 聚焦评价算子的选定15 3.1.1 聚焦评价算法理论分析15 3.1.2 聚焦评价算法性能比较16 3.1.3 实验结果分析18 3.2 改进的爬坡式焦点搜索策略20 3.2.1 爬坡算法20 3.2.2 改进的变步长爬坡策略20 3.3 聚焦实验结果及分析22 3.4 本章小结23 第四章 图像匹配技术研究24 4.1 图像匹配算法理论分析24 4.1.1 SIFT 算法的原理与实现步骤 24 4.1.2 SURF 算法的原理与实现步骤 28 4.1.3 SIFT 算法与 SURF 算法的比较 31 4.2 图像匹配的实现32 4.2.1 匹配原理32 4.2.2 双向匹配33 4.3 本章小结34 第五章 粗定位的实现35 5.1 系统坐标系的建立35 5.2 定位实验方法的讨论36 5.2.1 模板的选择36 5.2.2 像素当量的标定37 5.2.3 测头间距离的标定38 5.2.4 标记与待测区距离的标定38 5.3 标记的定位39 5.3.1 角度偏差的确定39 5.3.2 空间位置偏移量的确定40 5.4 本章小结41 第六章 定位实验结果及分析42 6.1 定位软件的设计42 6.2 定位实验44 6.3 误差分析47 6.4 本章小结48 第七章 总结与展望49 7.1 工作总结49 7.2 工作展望49 参考文献51 发表论文和参加科研情况说明56 致 谢57 第一章 第一章 绪论 PAGE PAGE 1 第一章 绪论 1.1 引言 科学技术发展到今日，人类的科学研究在广度和深度方面都达到了很高的层 次，从天体物理学研究宇宙运行法则，到量子力学研究分子、原子的运动规律， 我们探究的领域已深入到物质世界的方方面面，并且我们求索的脚步从未停止， 扫描探针显微镜技术伴随纳米技术的发展历程就是对这一结论的最好例证。 早在 1959 年，专注于量子力学领域研究的 Richard. Feynman 教授就前瞻性 的提出了一个设想[1]：“按照人类的意愿将原子一个个的排列起来，将会得到什 么样的物质，这些物质又将具有什么样的特性”。在很长的一段时间内，Richard 教授的这个设想都无法实现，因为人类研究微观世界的手段遇到了瓶颈。此前， 一般是采用光学方法对微观物质进行研究，但光波存在衍射极限的限制[2-3]，采 用光学方法所能得到的最高测量分辨率为 100nm，而原子的大小一般在 10-10m 即 0.1nm 的数量级，故当时在原子级别的研究方面缺乏有效的工具。 在 1982 年，一直致力于基础研究的 IBM 苏黎世实验室推出了世界上第一台 具备原子级分辨率的检测仪器，由著名的 G. Binnig 和 H. Rohrer 博士共同研制成