单频激光干涉测振关键技术研究-仪器科学与技术专业论文.docx

Classified Index: TH741.8 U.D.C: 612.3 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH ON KEY TECHNOLOGY OF HOMODYNE LASER INTERFERENCE VIBRATION MEARUREMENT Candidate： Guo Xuanbiao Supervisor： A.P. Hu Pengcheng Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Instrumentation Science and Technology Affiliation： Department of Automatic Measurement and Control Date of Defence： June, 2015 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 - - I - 摘 要 单频激光干涉测振方法具有光路结构简单、光源可光纤传输、测量结果易溯 源等优点，在振动测量和计量中具有广泛的应用前景。近年来，随着单频激光干 涉测振方法应用领域的不断扩展，被测对象的多样性使得测量表面的反射率差异 很大，同时被测振动的形式也向高频微小振动和低频大振幅振动两个方向同时发 展，这要求单频激光干涉测振技术向着宽频带、反射率自适应方向发展，并提出 高精度、高分辨力、高测量速度的测量需求。 本课题“单频激光干涉测振关键技术研究”主要针对单频激光干涉振动测量 中被测物体表面反射率不同导致非线性误差变大、低反射率和高频测振条件下测 量信号噪声大、高频测振时相位细分速度和分辨力相互矛盾等问题，首先研究一 种可在不同反射率条件下进行低非线性误差测量的单频激光干涉测振光路及其非 线性补偿方法，其次使用 FIR 低通滤波器来抑制信号噪声、保证测量分辨力的有 效性，最后设计基于 CORDIC 算法的高速相位测量单元对振动相位进行高速实时 检测。本课题的主要研究工作如下： 针对振动测量中不同被测对象表面反射率差异较大引起非线性误差不同且难 以补偿的问题，首先分析了被测对象表面反射率影响传统单频激光干涉仪输出信 号特性的作用过程，并指出此时非线性误差将相应变化且难以补偿；为此，研究 一种可适应不同反射率的单频激光干涉测振光路，采用该光路的测振仪其输出正 交信号的直流偏置误差为零且增益比误差、非正交误差与反射率无关，解决了非 线性误差随反射率变化的问题；在此基础上，通过增益调整和矢量相位校正运算 来补偿正交信号残余的不等幅误差和非正交误差，进而在不同反射率下均可获得 较低的非线性误差。 针对振动测量中低反射率下信噪比变差及高速数据采集噪声大而导致有效测 量分辨力下降的问题，首先对单频激光测振仪输出的正交信号进行 FIR 数字低通 滤波，以抑制正交信号存在的高频噪声、提高正交信号的信噪比，从而保证了位 移测量分辨力的有效性。 针对高频振动测量中提出的高速实时测相需求，研究一种基于 CORDIC 算法 的高速相位测量技术，首先对输入信号进行象限转换以满足 CORDIC 算法对输入 角度的要求，然后将反正切算法转化为多级流水线迭代得到运算角度，从而实现 了相位小数的细分；同时采用四细分辨向方法实现相位测量整数部分的辨向计数， 利用多级流水方式实现相位测量中整、小数单元的同步工作，实现了整、小数相 - - II - 位的同步合成。 在上述研究的基础上，本文搭建了 UOI_LSV 型单频激光干涉测振系统。等效 测试实验结果表明，本文研制的单频激光干涉测振仪在 10%到接近 100%的反射率 下其残余非线性误差优于±0.15nm，测量分辨力为 38.6pm，最大测量速度达到 1.582m/s，位移数据更新速率为 40MHz。直接测试实验结果表明，振动频率测量 范围为 DC~130kHz，振幅测量误差小于±10.3%，静态分辨力为 0.3nm，残余非线 性误差优于±1.98nm。 关键词：振动测量；单频激光干涉测振；非线性误差补偿方法；高速相位检测单 元 - - PAGE VI - Abstract With the advantages of simple structure, the light source can be transport in optical fiber and easy traceability of measurement results, homodyne laser vibrometer has b