第三章 长度尺寸测量.pptVIP

在原子力显微镜的系统中，是利用微小探针与待测物之间交互作用力，来呈现待测物的表面之物理特性。所以在原子力显微镜中也利用斥力与吸引力的方式发展出两种操作模式：???????（1）利用原子斥力的变化而产生表面轮廓为接触式原子力显微镜（contact AFM），探针与试片的距离约数个?。???????（2）利用原子吸引力的变化而产生表面轮廓为非接触式原子力显微镜（non-contact AFM），探针与试片的距离约数十到数百?。 原子力显微镜（AFM）便是结合力检测部分、位置检测部分、反馈系统三个部分来将样品的表面特性呈现出来的：在原子力显微镜（AFM）的系统中，使用微小悬臂（cantilever）来感测针尖与样品之间的交互作用，测得作用力。这作用力会使cantilever摆动，再利用激光将光照射在cantilever的末端，当摆动形成时，会使反射光的位置改变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整，最后再将样品的表面特性以影像的方式给呈现出来。 * 单晶硅光栅由三片平行排列的单晶微薄片组成。X射线经过第一片晶体(分束光栅)时，分成对称的零级和一级衍射光。两束光经过第二片晶体(镜面光栅)衍射，又形成各自的零级和一级衍射光，其中有两柬衍射光在第三片晶体(分析光栅)的位置处发生干涉。由于干涉条纹的间距等于晶体的晶面间距d，因此它与