氮化铬渗氮复合工艺研究-机械工程专业论文.docx

Duplex CrN Process Study Abstract This research studies the best parameter setup of the duplex CrN coating (including ion nitriding) in one machine and one process. It is also investigated that in what condition this duplex coatig can replace nitriding plus CrN and still has good wear resistance result. It will be a good solution for the surface treatment of high loading mold with reliable quality, low cost and also environment friendly. Keywords: Duplex CrN，PVD，mold，plasma nitriding Written by： Xu Kegang Supervised by： Ni Junfang III 目 录 HYPERLINK \l _bookmark0 第一章 绪论1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1 课题的研究意义 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.2 薄膜沉积原理 2 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2.1 薄膜的形核与成长2 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2.2 薄膜形成的热力学界面能理论4 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.3 基材温度与沉积速率对形核过程的影响6 HYPERLINK \l _bookmark6 1.3 多弧离子镀原理 7 HYPERLINK \l _bookmark7 1.3.1 物理气相沉积技术概论7 HYPERLINK \l _bookmark8 1.3.2 离子镀技术概论8 HYPERLINK \l _bookmark9 1.3.3 多弧离子镀原理10 HYPERLINK \l _bookmark10 1.3.4 多弧离子镀膜层特点13 HYPERLINK \l _bookmark11 1.4 等离子渗氮表面改性技术 15 HYPERLINK \l _bookmark12 1.4.1 等离子氮化理论16 HYPERLINK \l _bookmark13 1.4.2 等离子渗氮的主要特点19 HYPERLINK \l _bookmark14 1.5 等离子渗氮和物理气相沉积技术复合处理 20 HYPERLINK \l _bookmark15 1.6 本课题主要研究内容 21 HYPERLINK \l _bookmark16 1.7 本章小结 21 HYPERLINK \l _bookmark17 第二章 实验材料、设备及检测方法22 HYPERLINK \l _bookmark18 2.1 实验材料 22 HYPERLINK \l _bookmark19 2.1.1 材料的热处理23 HYPERLINK \l _bookmark20 2.1.2 喷砂与抛光23 HYPERLINK \l _bookmark21 2.1.3 清洗24 HYPERLINK \l _bookmark22 2.2 实验设备25 HYPERLINK \l _bookmark23 2.2.1 PVD 涂层设备 25 HYPERLINK \l _bookmark24 2.2.2 等离子渗氮设备26 HYPERLINK \l _bookmark25 2.3 PVD 性能指标及检测 26 HYPERLINK \l _bookmark26 2.3.1 涂层结合力与检测26 HYPERLINK \l _bookmark27 2.3.2 涂层厚度与检测29 HYPERLINK \l _bookmark28 2.3.3 涂层硬度与显微硬度检测31 HYPERLINK \l _bookmark29 2.3.4 涂层表面粗糙度与检测33 HYPERLINK \l _bookmark30 2.3.5 涂层的显微组织形貌分析33 HYPERLINK \l _bookmark31 2.4 本章小结33 HYPERLINK \l _bookmark32 第三章 一体化制备 DULPLEX CRN 的工艺研究 34 HYPERLINK \l _bookmark33 3.1 实验方法和工艺步骤 34