沟槽型双向IGBT的特性仿真-微电子学与固体电子学专业论文.docx

摘要 摘要 I 西安 西安理工大学硕士学位论文 II Ab Abstract I 西安 西安理工大学硕士学位论文 Characteristics, Dynamic Characteristics II 目录 目录 目 录 1 绪论............................................................................................................................ 1 1.1 研究背景意义................................................................................................. 1 HYPERLINK \l _TOC_250001 1.2 IGBT 及双向 IGBT 的发展历程及研究现状 3 1.3 论文主要研究内容和章节结构..................................................................... 5 HYPERLINK \l _TOC_250000 2 沟槽型双向 IGBT 的结构及工作原理 7 2.1 结构及参数..................................................................................................... 7 2.2 工作原理......................................................................................................... 8 2.3 本章总结....................................................................................................... 10 3 沟槽型双向 IGBT 的静态特性仿真 11 3.1 仿真软件....................................................................................................... 11 3.2 沟槽型双向 IGBT 的静态特性 11 3.3 静态特性仿真对比....................................................................................... 12 3.3.1 转移特性的对比................................................................................ 12 3.3.2 输出特性的对比................................................................................ 13 3.3.3 正、反向击穿特性的对比................................................................ 14 3.4 接通方式对静态特性的影响....................................................................... 16 3.5 结构参数对静态特性的影响....................................................................... 18 3.5.1 衬底参数............................................................................................ 18 3.5.2 N+阱参数 20 3.5.3 P+阱参数 25 3.5.4 栅氧化层厚度参数............................................................................ 28 3.6 本章总结....................................................................................................... 30 4 沟槽型双向 IGBT 动态特性仿真 33 4.1 沟槽型双向 IG