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低温烧结软性PZT压电陶瓷的制备及性能研究-微电子学与固体电子学专业论文
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位 论
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I
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摘 要
压电马达是一种重要的压电叠层器件,在微电子领域有着广泛的应用。为了提高 压电马达的响应速度和位移量,要求压电陶瓷是具有较低机械品质因数的软性压电陶 瓷。而软性压电陶瓷的低温烧结一直是 PZT 陶瓷材料的难点。所以本文针对这一问题, 选取 Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3(PZN-PZT)体系压电陶瓷作为研究对象,从陶瓷制备 工艺,材料基本配方和氧化物掺杂改性这几方面进行研究,从而达到提高陶瓷性能、 降低陶瓷烧结温度的目的。
本文首先对材料的制备工艺进行研究,通过调节材料的预烧温度,陶瓷的致密性 和压电性能提高明显。通过改善材料的球磨工艺,球磨粉料的粒径从 0.91 μm 下降到 了 0.72 μm,粉料粒径低的样品在烧结时具有更高的活性,因而球磨工艺的改善提高 了陶瓷的铁电性与压电性。通过对不同生产厂家原料的使用,发现陶瓷的原材料对陶 瓷性能也有较大的影响。最终,陶瓷制备工艺的改进提高了陶瓷的压电性能,材料的 压电系数 d33 从 340 pC/N 提升到 527 pC/N,平面机电耦合系数 k31 从 0.31 提升到了 0.37。
在确定陶瓷制备工艺的基础上,本文讨论了 PZN-PZT 的基本配方对材料性能的
影 响 。 通 过 PZN-PZT 陶瓷 体系 中 铌 锌 酸 铅 的 含 量 的 研 究 , 明 确 了 在 0.3Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-0.7Pb(Zr,Ti)O3 处陶瓷的性能达到最优。之后改变 PZN-PZT 陶瓷的 锆钛比,使材料位于准同型相界处。最后对陶瓷中 Pb 元素的含量进行研究,发现 Pb 元素含量在刚好满足材料的化学计量比时性能最佳。
明确了 PZN-PZT 陶瓷的基本配方后,本文研究了 Li2CO3 掺杂和 Sm2O3 掺杂对材 料性能的影响。Li2CO3 掺杂可以使材料的烧结温度从 1125℃下降到 950℃,并且陶瓷 的压电性能没有明显的下降。但是,当陶瓷的烧结温度低于 950℃时,材料的压电性 能会大幅下降。Sm2O3 掺杂可以提高 900℃烧结的陶瓷样品的压电性能。最终,烧结 温度为 900℃时陶瓷的最佳性能参数为:d33=483pC/N,k31=0.376,Qm=73.09,εr=2524, tanδ=0.0178。
关键词:PZT 压电陶瓷 低温烧结 制备工艺 氧化物掺杂
II
II
ABSTRACT
Piezoelectric motor is a significant part in the various types of multilayer piezoelectric devices, which has been extensive used in micro-electronics. In order to increase the displacement and decrease the response time of the piezoelectric motor, it is necessary for the material to be a soft piezoelectric material with a low mechanical quality factor. However, to reduce the sintering temperature of a soft PZT piezoelectric ceramic is an difficulty nowadays. Therefore, to solve this problem, the Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3 (PZN-PZT) pi
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