硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真.pdf

54 7 2005 7 Vo . 54, No. 7, Ju y, 2005 10003290200554( 07)325106 ACTA PHYSICA SINICA 2005 Chin. Phys. Soc. ( 1) * 杨 靖 李景镇 孙秀泉 龚向东 ( , 5 18060) ( 2004 5 31 ; 2004 11 18 ) , , . 1356MHz, 05Torr( 05 10 333Pa) ( SiH ) . 550V 350V , 4 RF , . : , , , PACC: 5265, 5235, 5225F, 5240K 1引 言 2模 型