碳化硅电子器件发展解析.docxVIP

碳化硅电力电子器件的发展现状分析 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc459990499 1. SiC器件的材料与制造工艺 PAGEREF _Toc459990499 \h 2 HYPERLINK \l _Toc459990500 1.1 SiC单晶 PAGEREF _Toc459990500 \h 2 HYPERLINK \l _Toc459990501 1.2 SiC外延 PAGEREF _Toc459990501 \h 3 HYPERLINK \l _Toc459990502 1.3 SiC器件工艺 PAGEREF _Toc459990502 \h 4 HYPERLINK \l _Toc459990503 2. SiC二极管实现产业化 PAGEREF _Toc459990503 \h 5 HYPERLINK \l _Toc459990504 3. SiC JFET器件的产业化发展 PAGEREF _Toc459990504 \h 6 HYPERLINK \l _Toc459990505 4. SiC MOSFET器件实用化取得突破 PAGEREF _Toc459990505 \h 7 HYPERLINK \l _Toc459990506 5. SiC IGBT器件 PAGEREF _Toc459