固体物实验.pptVIP

固体物理实验 一.脉冲白光诱导扩散实验 二.白光诱导固体薄膜区 熔再结晶研究 脉冲白光诱导扩散实验 一.实验的目的和意义: 二.实验内容: 1. 硅片清洗 清洗台 去离子水设备 2. 涂SiO2乳胶 3. 白光诱导扩散 4. 扩散电阻测量 (1). 用氢氟酸漂去SiO2乳胶层 (2). 用扩散电阻测试仪测量参杂原子的浓度 白光诱导固体薄膜区熔再结晶研究 一.实验的目的和意义: 二.实验内容 1.固体薄膜的制备 2.薄膜样品的区熔再结晶实验 3.用XRD,IR,TEM等近代手段对样品进行结构性质分析测试 三.白光诱导区熔再结晶设备 * * 洁净工作台 Jasco傅立叶变换红外光谱仪 (FTIR) X’Pert PRO X射线衍射仪 (XRD) * *