第三章_压力传感器.pptVIP

3.5 电容式压力传感器 3.5.1 电容式传感器的工作原理 电容式传感器有三种基本类型：变极距型、变面积型、变介电常数型。 1、变极距型电容传感器 3.5 电容式压力传感器 2、变面积型电容传感器 3、变介电常数型电容传感器 3.5 电容式压力传感器 3.5.2 差动电容传感器 在实际压力测量中，常使用差动点电容传感器，不但提高了灵敏度，也改善了非线性。 3.5 电容式压力传感器 3.5.3 测量电路 电桥电路、调频电路、脉冲调宽电路和运算放大器式电路等。 1、桥式电路 空载电压为： 3.5 电容式压力传感器 2、紧耦合电桥电路 紧耦合电桥理论可得此状态下输出电压 在两L0非耦合情况下， 输出电压为： 3.5 电容式压力传感器 3、差分脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路属脉冲调制电路。它利用对传感器电容充放电使输出脉冲的宽度随电容量的变化而变化，再经低通滤波器可得对应被测量变化的直流信号。 输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 3.5 电容式压力传感器 差动脉冲调宽电路各点电压波形图如示 3.5 电容式压力传感器 4、调频电路 将电容式传感器接入高频振