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第卷第期光学精密工程年月文章编号增对零差激光干涉仪非线性误差的影响王超群黄强先伍婷婷武万多合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽合肥合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽合肥摘要基于琼斯矩阵原理研究了分别位于零差激光干涉仪干涉部分和探测部分的个偏振分光棱镜引起的非线性误差首先介绍了零差激光干涉仪的构成和工作原理然后对干涉仪中的理想琼斯矩阵进行修正建立了与光路中用途相对应的误差分析模型最后在软件中分别仿真了单独和整体引起的非线性误差结合仿真曲线和误差分析模型可知干涉部分的主要引起非正交误差而探测部
第 卷 第 期 光学精密工程
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