C注入对金属SiO2体系摩擦学行为影响.PDFVIP

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2018-12-11 发布于湖北
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C注入对金属SiO2体系摩擦学行为影响.PDF

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第 22 卷　第 5 期摩擦学学报 22, 　 5 V o l N o 2002 年 9 月 TR IBOL O GY Sep , 2002 + 注入对金属 2 体系摩擦学行为的影响 C SiO 吕晋军, 徐　洮, 杨生荣, 齐尚奎, 薛群基 ( 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 甘肃兰州　730000) 摘要: 考察了 + 注入对、和等 3 种金属氧化物体系的硬度、膜基结合强度和摩擦学性能的影响. 结果表明, C T i A l A g + 注入可以显著提高、和金属氧化物的硬度和膜基结合强度, 从而改善摩擦学性能. + 注入使得膜体 C T i A l A g C T i 相和界面处产生固溶体, 这是膜耐磨寿命得以提高的主要原因. T i C T i 关键词: 离入注入; 金属氧化物体系; 摩擦学性能中图分类号: T G 174. 444 文章标识码: A 文章编号: (2002) 　　金属氧化物的界面物理和化学作用在基于金属纳米硬度与划痕试验在瑞士C SEM 的纳米压入陶瓷复合材料的新型结构材料、微电子中的金属氧计和纳米划痕仪上进行, 同时采用 PH I5702 型多功化物接触、气体传感器以及氧化物担载过渡金属催化能射线光电子能谱仪( ) 对 2 体系进行 X X P S T i SiO [ 1 ] + 剂等许多重要领域起着重要作用 . 在陶瓷表面沉积 ( ) 剖面分析, 用 3. 5～ 4. 0 k eV 的A r 离子束对样品表 [2 ] 金属薄膜可以改善陶瓷的导热 , 降低陶瓷材料在摩面进行刻蚀, 用M g K 激发源, C l