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物理学报微晶硅锗太阳电池本征层纵向结构的优化曹宇张建军李天微黄振华马峻倪牮耿新华赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室天津年月日收到年月日收到修改稿采用射频等离子体增强化学气相沉积技术研究了辉光功率对微晶硅锗材料结构特性和光电特性的影响提出使用功率梯度的方法制备微晶硅锗薄膜太阳电池本征层优化后的微晶硅锗本征层不仅保持了晶化率纵向分布的均匀性而且形成了沿生长方向由宽到窄的渐变带隙分布使电池的填充因子和短路电流密度都得到了提高采用此
物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 3 (2013) 036102
微晶硅锗太阳电池本征层纵向结构的优化*
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曹宇 张建军 李天微 黄振华 马峻 倪牮 耿新华 赵颖
( 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所, 光电信息技术科学教育部重点实验室, 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室, 天津 300071 )
( 2012 年6 月2 日收到; 2012 年9 月4 日收
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