基于PLCMOCVD控制系统设计.PDFVIP

基于 PLC 的 MOCVD 控制系统设计 西安电子科技大学机电工程学院 过润秋 陈贤能 摘要：针对MOCVD系统工艺的要求，设计了一种基于PLC的MOCVD计算机控制系统。本文从 系统的组成、实现原理和软件设计等方面做了介绍。采用可编程控制器作为其核心控制系统， 提高了系统的自动化程度，保证了系统运行的可靠性，灵活性。 关键词：PLC；MOCVD;计算机控制系统 中图分类号：TP273 文献标志：B Design of MOCVD control system based on PLC GUO Run-qiu , CHEN Xian-Neng (School of Electromechanical Engineering, Xidian University, Xi’an 710071, China) Abstract ：According to technical request of MOCVD system, we designed a MOCVD computer control system based on PLC. This paper introduces the composing