精密XY位移平台.PDFVIP

精密XY位移平台 高运动精度和稳定性，行程为305 × 305毫米 L-741  行程为305毫米×305毫米（12英寸）  单向重复精度达0.05微米  速度达90毫米/秒  两相步进电机或直流电机  增量线性编码器分辨率为1纳米  20000次脉冲/分辨率的旋转编码器 增量编码器用于高精度位置测量 非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。