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第卷第期表面技术年月等离子体处理对石墨膜表面亲水性的影响李文虎潘勇雷维新罗振亚何浩张爽湘潭大学材料科学与工程学院湖南湘潭摘要目的通过等离子体处理石墨膜提高石墨膜表面的亲水性方法采用不同的工艺条件对石墨膜进行等离子体处理测试石墨膜的表面接触角利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察石墨膜处理前后表面形貌的变化通过射线光电子能谱分析石墨膜处理前后表面成分的变化采用万能材料试验机测试镀铜样品的剥离强度评价铜镀层与石墨膜的结合力结果采用空气处理气氛时在气体流量为功率为的条件下处理石墨膜的接触角从处理前的降至
第 47 卷 第 4 期 表面技术
2018 年 4 月 SURFACE TECHNOLOGY ·35 ·
等离子体处理对石墨膜表面亲水性的影响
李文虎，潘勇，雷维新，罗振亚，何浩，张爽
（湘潭大学 材料科学与工程学院，湖南 湘潭
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