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第06讲-压电式压力传感器.ppt
电荷量、电压、电容的关系为 因此,压电传感器还可以等效为电压源Ua和一个电容器Ca的 串联电路,如图 (b)。 Ua Ca (b) 二、压电传感器的等效电路 实际使用时,压电传感器通过导线与测量仪器相连接,连接导线的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci对电路的影响就必须一起考虑进去。当考虑了压电元件的绝缘电阻Ra以后,压电传感器完整的等效电路 压电传感器的实际等效电路 (a) 电压源; (b) 电荷源 二、压电传感器的等效电路 值得注意的是: 1、利用压电式传感器测量静态或准静态量值时,必须采取一定的措施,使电荷从压电晶片上经测量电路的漏失减小到足够小程度。而在动态力作用下,电荷可以得到不断补充,可以供给测量电路一定的电流,故压电传感器适宜作动态测量。 2、前置放大器的作用: (1)放大 (2)阻抗转换 电压放大器 电荷放大器 1、电压放大器 输入端电压: 1、电压放大器 放大器输入端电压幅值: 输入电压与作用力间的相位差: 1、电压放大器 时间常数 1、电压放大器 系统固有频率 系统高频灵敏度 由运算放大器构成的电压比例放大器 2、电荷放大器 电荷放大器原理图 电荷放大器的输出电压uo只取决于输入电荷与反馈电容Cf,与电缆电容Cc无关,且与q成正比,因此,采用电荷放大器时,即使连接电缆长度在百米以上,其灵敏度也无明显变化,这是电荷放大器的最大特点。 例1: 压电式测力传感器 压电式三向力传感器 §3 压电传感器的应用 电极结构 预紧力 例2: 压电式压力传感器 压电陶瓷:弹丸起爆装置——破甲弹 例3:压电引信 /AMuseum/weapon/html/bingqizhishi/danyao/yinxin874.html 产品过载冲击试验 跌落高度h 被冲击介质:钢、橡胶、塑料、木块 加速度 产品 例4:冲击试验台的标定和检测 事故性碰撞:点火信号、电点火管、气体发生剂、 气体、充气、弹性体 例5:汽车安全气囊系统 Page ? * 传感器与检测技术教程 传感器与检测技术教程 * 第6讲 压电式传感器 压电器件 受力、表面形变 电荷 §1 压电效应 Piezoelectric Effect 雅克·居里(Jacques Curie)(1856年10月29日-1941年),法国物理学家,蒙彼利埃大学教授。 皮埃尔·居里 (Pierre Curie) (1859 -1906) 居里兄弟 他们发现了一些晶体在某一特定方向上受压时,在它们的表面上会出现正或负电荷,这些电荷与压力的大小成正比,而当压力排除之后电荷也消失。 1881年,他们发表了关于石英与电气石中压电效应的精确测量。 1882年,他们证实了李普曼(G.Lippmann)关于逆效应的预言:电场引起压电晶体产生微小的收缩。 利用压电现象,他们还设计了一种压电石英静电计——居里计。 某些物质沿某一方向受到外力作用时,会产生变形,同时其内部产生极化现象,此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷,当外力去掉后,它又重新恢复到不带电的状态,这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时,电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 F - - - - - - + + + + + + F F F + + + + + + - - - - - - §1 压电效应 Piezoelectric Effect 反之,当在某些物质的极化方向上施加电场,这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力;当外加电场撤去时,这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 纵轴Z称为光轴,通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴,与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 1. 石英晶体的压电效应 石英晶体的晶轴 (a) y x z O x a z y b c (b) 把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应” 把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应” 沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应 压电式传感器主要是利用纵向压电效应 1. 石英晶体的压电效应 硅氧离子的排列示意图 (a) x y (b) + x y + + - - - 石英晶体产生压电效应的微观机理 当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - 因为P = qL(q为电荷量,L为 正负电荷之间的距离),此时
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