BiFeO3外延薄膜电容器与异质结制备和性能分析.docx

优秀毕业论文 精品参考文献资料 摘要 摘要 钙钛矿结构的多铁性材料BiFe03(BFO)是目前唯一一种在室温下同时具有 强的铁电性和磁性的单相材料，其奈尔温度TN约为673K，居里温度Tc约为 1103K。巨大的应用前景使其自发现开始就受到人们的广泛关注。 BFO的剩余极化(Pr)高达90．100 12 C／cm2，成为无铅铁电材料的重要候选 材料之一。但是因为制备纯相的BFO块材和薄膜的条件都较为苛刻，而且材料 中都存在较大的漏导电流，所以很难获得饱和的铁电电滞回线。通过化学掺杂可 以有效改善其漏电性能。BFO直接光学带隙约为2．8eV，在波长500nm以上具 有高的光透过率，与透明导电材料一起可以制备全透明铁电器件。 本论文中采用脉冲激光沉积的方法制备薄膜，摸索并掌握了纯相BFO薄膜 成熟的制备工艺，使用一种新型的，z型透明导电材料Lao．07Sro粥Sn03(LSSO)作 为电极材料，成功的制备了全外延生长的透明铁电电容器，发现Mn掺杂可以有 效改善BFO薄膜的铁电性能；还成功的制备了结构为LSSO＼BFO的全透明异质 结，发现异质结呈现出整流特性和电阻回滞行为，调节BFO薄膜的厚度及Mn 的掺杂结果表明整流特性和阻滞行为都是和BFO薄膜中的氧空位相关；另外还 系统研究了一种常见的电极材料也是庞磁阻锰氧化物Lao．7Sro．3Mn03(LSMO)生 长在三种不同的衬底上的晶格弛豫行为，并分析了其机理。 全文分为六章，各章的主要内容概括如下： 第一章首先简单介绍了钙钛矿结构功能材料的晶体结构、晶格畸变和d轨 道分裂等基础知识，随后从研究背景、发展状况和基本应用概念方面分别介绍了 铁电材料、多铁性材料、透明导电材料、钙钛矿锰氧化物及基于铁电材料的薄膜 电子器件。其中主要讲述了论文后面章节中需要用到的公式和概念。 第二章主要介绍了本论文中用到的样品制备和表征测试方法。特别对PLD 方法和高分辨X射线衍射做了详细介绍。 第三章利用x射线的倒易空间图，研究了菱形结构的LSMO薄膜生长在三 种不同的衬底上因为晶格失配对于薄膜结构的影响。发现了三种不同的应力释放 方式，特别是在NGO(110)衬底上，LSMO在面内两个相互垂直的方向上采用 不同的机制来是释放应力。 第四章用新型的透???导电氧化物LSSO薄膜作为电极制备了外延 BiFeo．95Mno．0503全透明铁电电容器，获得高质量的饱和电滞回线，并通过透光率 的测量得NT BFMO的光学带隙宽度。同时研究了衬底方向对薄膜极化强度的 影响及疲劳特性。 第五章系统分析了LSSOkBFO(BFMO)异质结的I．v特性，发现在 ．1．  摘要 LSSO＼BFO异质结中存在整流效应和阻滞行为，通过Mn掺杂前后和不同厚度 BFO对于异质结整流特性和阻滞行为的影响，认为其原因是BFO中存在的大量 氧空位。 第六章利用LSMO作为电极，在LAST(001)、(110)和(111)衬底上分 别制备了Bi3．1sNdo．gsTi3012外延薄膜电容器，在(110)和(111)衬底上获得了 良好的电滞回线，其具有很好的抗疲劳特性。从结构上分析了其外延关系。 关键词： 铁酸铋铁电薄膜透明导电氧化物外延应力弛豫阻滞回线  Abstract Abstract BiFe03(BFO)with a perovskite-type structure is nOW perhaps in the future the only single—phase material that is both magnetic and a strong ferroelectric at room temperature，TN2673K，Tc2l 1 03K．Great prospect captured the imagination worldwide． The residual polarization of BFO(Pr)reach up to 90·1 00／．t C／cm2，which provides an alternative choice of a lead—free ferroelectric material．How because the pure phase BFO bulk and film preparation conditions are relatively harsh，and there is a large leakage current，it is difficult to obtain saturated hysteresis loop．Chemical—doping can improve the leakage performance．The optical b